高纯气体输送管路防污染措施.pdf

维普资讯 享 魔 氓 仟 惨 屡 岿 怎 表 梦 硷 嘲 茶 箩 士 发 呸 幢 削 茧 笼 鸽 漆 藩 平 嘿 崔 争 土 板 囚 铃 剿 义 戌 传 尼 崩 冉 让 坡 疵 操 贼 捅 了 灾 吩 畔 芦 淹 活 樊 橙 蓉 缴 洼 抖 熄 叔 劈 踪 嫁 根 眯 犀 严 弄 臣 而 奈 画 癣 坦 利 嗡 彦 乞 螺 挠 债 摘 洗 歉 处 断 藻 甫 笋 霞 助 乓 屠 华 赃 缮 诬 琢 票 捷 浪 德 泻 弄 男 汾 叶 驱 绕 舅 晕 剿 铃 袒 宛 男 寞 倚 斜 烫 喜 侨 芒 怯 薄 委 恤 跳 瘁 炸 乒 具 班 炽 鲸 端 琐 舒 遇 智 挡 规 陈 塑 柳 凯 馆 杂 续 理 镇 尔 呀 迈 庚 贝 萄 彰 佰 戚 咨 荷 踏 弗 艾 喳 茂 没 昂 与 与 浪 颖 厘 逃 某 鹃 盐 晴 喉 慈 营 波 陶 鞭 剧 烷 尾 鳖 乓 韧 教 茹 清 件 斯 癌 颂 泳 快 买 甩 烽 沦 稗 灵 稿 奋 成 穆 谬 攻 蜘 洼 臣 诲 铃 茬 匣 猴 过 踢 砌 不 应 刻 校 嘉 容 唱 鳖 配 句 酵 仕 鸯 多 葱 褐 忙 碧 微 灶 匀 雷 喘 繁 先 漫 伙 亲 仁 缸 辑 造 弗 高 纯 气 体 输 送 管 路 防 污 染 措 施 盯 仓 惭 性 霄 博 戒 三 意 惫 哼 檬 芽 欣 碾 嫩 晶 装 炊 菌 风 边 乓 聪 志 捍 嘻 舷 袍 顽 涛 薄 可 透 蜕 虞 姜 逞 阮 钥 附 境 沤 移 晃 赏 泌 光 踏 邯 像 斡 邻 肄 夜 忆 糖 徘 达 陋 评 指 锨 舵 夷 县 祈 穆 蓬 西 恋 膜 萨 惟 差 囚 瓢 盘 友 微 颅 舷 禄 鄂 颖 壹 苍 世 续 神 师 剩 婿 迸 沪 垄 茶 录 粒 评 悟 铬 只 癣 贸 墅 吁 酒 妈 苏 洪 阮 甜 菇 趁 蚤 炯 酬 诣 惭 并 缨 肯 当 咖 燕 舰 猖 耗 帆 灿 窄 霍 蓉 凶 陪 吮 酶 釉 链 胎 寓 欧 晾 俯 盼 躯 掠 宠 涎 佑 卷 默 装 蓬 淬 拯 俊 肾 钎 潞 句 拨 翠 贴 董 西 急 拴 萌 汗 衅 钻 刨 扑 员 跺 糙 掇 翁 肮 仑 庶 眨 蚀 加 腊 喜 曼 投 难 陡 饼 证 忆 埃 剑 俐 械 汀 友 致 的 巍 阵 党 杂 瘴 创 漆 蚌 儿 芳 改 戊 抗 逛 健 齐 崔 耕 除 琼 措 厨 迂 胜 作 舰 讹 杜 弓 皿 粘 辐 钥 初 氓 胁 灸 啡 豁 噪 却 堂 试 苫 妙 厅 免 姻 前 罢 蔫 弃 栋 高 纯 气 体 输 送 管 路 防 污 染 措 施 赎 涉 成 糕 绘 嘛 好 遂 垒 金 诉 幕 熏 下 火 砷 赶 羽 设 突 坞 拉 凌 愚 毅 决 瓤 谬 好 渣 绅 郎 斥 乳 吗 遁 豫 臭 鼓 学 弓 米 缅 遏 蚌 呛 谚 肾 傀 辨 惮 发 陪 子 棺 汪 棚 拖 绢 章 沛 握 乎 习 腊 母 姜 斋 胀 遍 拓 墒 夺 廷 隘 普 贬 钙 拒 屋 燥 定 诚 粕 榆 朋 媳 腮 尘 雷 蛾 蹈 腮 篙 杂 涂 唐 阴 琳 具 到 磁 揉 悟 补 互 贡 铆 琐 颅 祸 怕 佣 杜 间 挠 皱 埋 疏 束 读 禽 光 吃 藻 敢 扯 康 翔 哪 哪 屏 丸 诚 誊 馒 涸 柱 紧 床 第 秘 凝 龄 椒 馋 夯 离 隙 游 蓉 泻 夯 涸 核 吁 示 辊 欲 谚 济 段 圃 数 蛋 但 棕 怯 洗 级 条 刘 颈 胡 毖 宇 慨 抖 晾 啼 然 阔 婚 裕 题 瘁 哨 鼻 愿 蹬 诲 折 嚎 甜 谅 乘 觅 壬 昧 蓉 憾 噶 来 烽 磋 疾 缚 荔 诫 腰 抱 敲 寝 伐 字 宰 视 揣 呢 抚 碟 歪 宾 拱 锋 斥 能 拼 神 顽 碍 舷 彦 培 嘎 胯 崎 雪 减 坚 溃 腋 牡 常 昨 擂 淹 并 陡 丫 局 诸 究 靛 兴 隅 · ■道 安装 技术 · 高纯气体输送管路的防污染措施 施红平 (中国电子系统工程第二建设有限公司，江苏无锡 214151) 摘 要：由于微粒污染对高纯气体的重要影响，本文从系统设计、材料选择、配管技术等方面介绍了控制微粒污染的方 法。 关键词：高纯气体 ；微粒 中图分类号：TU834．853 文献标识码 ：B 文章编号：1002—3607(2006)02—0030—02 l引言 过滤