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高纯气体输送管路防污染措施
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· ■道 安装 技术 ·
高纯气体输送管路的防污染措施
施红平
(中国电子系统工程第二建设有限公司,江苏无锡 214151)
摘 要:由于微粒污染对高纯气体的重要影响,本文从系统设计、材料选择、配管技术等方面介绍了控制微粒污染的方
法。
关键词:高纯气体 ;微粒
中图分类号:TU834.853 文献标识码 :B 文章编号:1002—3607(2006)02—0030—02
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