红外焦平面微型金属杜瓦高气密激光焊接的研究 laser welding for the manufacture of the infrared focus plane micro-dewar.pdfVIP

第40卷第4期 激光与红外 V01．40，No．4 2010年4月 LASERINFRARED April，2010 文章编号：1001-5078(2010)04-0361-04 ·激光应用技术· 红外焦平面微型金属杜瓦高气密激光焊接的研究 王小坤，孙 闻，曾智江 (中国科学院上海技术物理研究所，上海200083) 摘要：高气密激光焊接是红外焦平面微型金属杜瓦的关键技术。针对微型杜瓦的结构和材 料特点，通过实验对激光焊接设备可调参数电流和脉宽与焊接能量的关系、电流和脉宽对焊斑 宽度、焊接斑深度的影响、离焦量和重叠对焊接质量影响的研究，得到不锈钢和柯伐、不锈钢与 不锈钢和柯伐与柯伐的合理的焊接参数，并将这些工艺参数应用到某个工程项目用红外焦平 Tort·L／s。 面微型金属杜瓦的激光焊接中，其漏率均优于3×10-12 关键词：微型金属杜瓦；激光焊接；气密性 中图分类号：TN249 文献标识码：A Laser forthemanufactureoftheinfraredfocus welding plane micro．dewar WANG Xiao—kun，SUNWen，ZENG Zhi-jiang InstituteofTechnicalChinese ofSciences，Shanghai200083，China) (Shanghai Physics Academy infraredfocus micro·-dewarmusthavevacuumair··sealed inordertobeableto Abstract：The plane high properties standtOthe ofvacuum themanufacturecourseofinfraredfocus up demanding longevity．In micro-dewar，laserwelding is crucial forthesakeof low onlaser integralleakage．Thispaperreports weldingprocess among processes obtaining characteristicsoftheinfraredfocusmicro-dewar． Keywords：micro-dewar；laserwelding；airtight l 引 言 高、速度快、焊缝细窄、热变形小和精度高等优点，而 随着波长向长波扩展和探测灵敏度的提高，碲 且其不需要填充焊料，焊缝是由被焊的两金属表面 镉汞红外焦平面探测器必须在深低温下才能工作。 相互渗透结合而成拉j，所以可以减少焊件质量。因 由于机械制冷具有结构紧凑、体积小、质量轻、制冷 此，可以说激光焊接是一种理想的焊接工艺。它在 量大、制冷时间短、制冷温度可控范围大等优点，目 红外焦平面微型金属杜瓦研制中得到越来越广泛应 前该类探