第九章 精密和超精密加工.pptVIP

第九章 精密和超精密加工的支撑环境;第一节 空气环境和热环境;二、 热环境 热环境中主要应控制的品质为温度和湿度。 1)温度对机床的影响； 2)温度对工件加工精度的影响； 3)温度对测量的影响。 恒温条件: 1)恒温基数 2)恒温精度 精密和超精密加工对环境的相对湿度也有一定的要求。 相对湿度：空气中水蒸汽分压力和同温度下饱和水蒸汽分压力之比。它反映了湿空气中水蒸汽含量接近饱和的程度。相对湿度值小，表示空气离饱和程度远，空气较为干燥，吸收水蒸汽能力强，相对湿度值大，表示空气接近饱和程度，空气较为潮湿，吸收水蒸汽能力弱。;1、湿度过高，会产生许多对精密和超精密加工不利的因素 ①相对湿度超过50％时会使机床和仪器发生锈蚀，光学镜头出现霉斑，严重影响仪器设备的性能。 ②相对湿度超过55％时会使冷却水管壁上出现结露现象，假如是发生在精密装置的电路系统当中，将是引发各种事故的隐患。 ③湿度太高时，空气中的水分子将把硅片表面粘着的尘埃化学吸附在表面上而难于清除。;2、相对湿度过低也不利于精密和超精密加工 当相对湿度低于30%时，有些材料由于干燥而变脆和易燃；静电力的作用使尘埃更易吸附于物体表面，某些半导体器件容易发生击穿。 一般情况下，相对湿度应．控制在35％到45％之间，湿度的波动范围相应规定了±10％、±5%和±2%几个等级。当前精度要求非常严格的某些半导体工业已经需要将湿度度波动范围控制为1%，而且今后会更加严格。 ;三、洁净室 洁净室：将室内空气中尘埃微粒、温度、湿度、压力流速和气流的分布形式及其形状等控制在一定范围内的房间。它为精密和超精密加工提供了必需的空气环境和热环境，是整个支撑环境的重要基础设施。 1、实现空气净化的基本要求 (1)发尘量要小 (2)及时排除尘埃 (3)供给洁净的空气（形成压差，外面的一般 空气进不去） ;2、空气过滤器 空气过滤器是空气净化的关键设备。 3、气流组织 主要作用：①把已有的尘埃尽快而有效地排出去，②并阻止外界尘埃进入。注意：在此过程中要防止尘埃二次飞扬，以减少尘埃对工艺过程的污染。工作区的气流速度应满足空气洁净度的要求。 洁净室的气流组织型式主要有乱流和层流两种型式。 4、正压控制——室内空气压力高于室外 5、温度和湿度的控制 ;四、分层次的局部环境 ①精密和超精密加工要求的支撑环境因行业不同而有所不同， ②即使是同一种行业，不同工序要求的环境也不相同。;第二节 振动环境; 二、振动干扰的消除 1、内部振动干扰的消除——防振 (1)提高设备回转零件的动平衡精度 (2)减少设备传动系统的振动干扰 (3)减少液压系统的干扰 (4)提高加工设备的抗振性 2、外界振动干扰的消除——隔振 ;第三节 噪声环境;二、噪声源 ①空气动力噪声 ②机械噪声 ③电磁噪声 ④固体噪声 ;三、噪声控制 1、从噪声源入手，尽量减少噪声源或降低噪声辐射，包括 ①尽可能选用低速低噪声的加工设备和辅助设施， ②严格控制送风管道等空调系统中的气流速度，③使用高质量、高性能的电．器元件， ④远离外界的强噪声源，如公路、工厂、学校等，这些都是控制噪声源的有效措施。 2、在噪声传播的过程中采取控制措施，它们包括 ①隔声 ②吸声 ③消声;第四节 其它环境; 1、照度：单位被照面积上接受的光通量（单位是Lx）。 加工时，操作越精细，光的照度就应该越高。 ●表9—11 最低照度值（我国标准） 2、眩光 眩光是衡量照明质量的指标。它是由于在视线附近有高亮度光源、光泽表面反射出高亮度光源和极高的亮度对比等原因形成的。常用眩光常数G来表示，眩光常数G值越小，眩光越弱，人的感觉就越舒服。 ●表9-12 G值与眩光引起的不舒适程度之间的关系;二、静电环境 洁净室里有许多产生静电的地方和场合。 产生和集聚的大量静电，有可能导致如下一些事故： 1)静电放电使人受到电击而产生不由自主的动作造成失误，甚至造成触电，碰伤、摔伤等二次伤害。 2)静电放电使元器件击穿，尤其是那些对静电放电十分灵敏的器件，损坏率极高。 3)静电放电产生的光可使胶片不正常感光，静电放电产生的热可使易燃物起火和爆炸，静电放电产生的电磁波可使仪器出现干扰，设备出现误动作。 4)静电本身产生的力可使尘埃微粒吸附于表面而造成制品污染，粉尘堵塞等生产事故。 防止静电产生的措施： ①采用抗静电或经过抗静电处理的材料铺设地板、装饰墙壁； ②用高效的抗静电剂喷涂易产生和携带静电的材料和部位； ③用不易