基于SOI非对称马赫曾德尔结构的集成矢量和微波光子移相器-中国光学.PDF

第源卷摇 第源期 摇 摇 摇 摇 摇 摇 中国光学摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 灾燥造援源摇 晕燥援源 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 圆园员员年愿月摇 悦澡蚤灶藻泽藻韵责贼蚤糟泽摇 摇 粤怎早援圆园员员 文章编号摇 员远苑源鄄圆怨员缘渊圆园员员冤园源鄄园源员愿鄄园缘 陨灶贼藻早则葬贼藻凿增藻糟贼燥则泽怎皂皂蚤糟则燥憎葬增藻责澡燥贼燥灶蚤糟责澡葬泽藻泽澡蚤枣贼藻则 遭葬泽藻凿燥灶葬泽赠皂皂藻贼则蚤糟酝葬糟澡鄄在藻灶凿灶藻则泽贼则怎糟贼怎则藻蚤灶杂韵陨 载陨粤韵再燥灶早鄄糟澡怎葬灶袁匝哉孕藻灶早鄄枣藻蚤袁在匀韵哉允蚤灶早鄄则葬灶袁蕴陨哉悦葬蚤鄄曾蚤葬袁阅韵晕郧宰藻蚤袁悦匀耘晕宰藻蚤鄄赠燥怎 渊杂贼葬贼藻运藻赠蕴葬遭燥则葬贼燥则赠燥灶陨灶贼藻早则葬贼藻凿韵责贼燥藻造藻糟贼则燥灶蚤糟泽袁悦燥造造藻早藻燥枣耘造藻糟贼则燥灶蚤糟杂糟蚤藻灶糟藻 葬灶凿耘灶早蚤灶藻藻则蚤灶早袁允蚤造蚤灶哉灶蚤增藻则泽蚤贼赠袁悦澡葬灶早糟澡怎灶 员猿园园员圆袁悦澡蚤灶葬冤 粤遭泽贼则葬糟贼院粤灶蚤灶贼藻早则葬贼藻凿增藻糟贼燥则泽怎皂皂蚤糟则燥憎葬增藻责澡燥贼燥灶蚤糟责澡葬泽藻泽澡蚤枣贼藻则渊酝宰孕孕杂冤 遭葬泽藻凿 燥灶贼澡藻葬泽赠皂皂藻贼则蚤糟 酝葬糟澡鄄在藻灶凿灶藻则泽贼则怎糟贼怎则藻蚤灶杂蚤造蚤糟燥灶燥灶陨灶泽怎造葬贼燥则渊杂韵陨冤则蚤遭憎葬增藻早怎蚤凿藻泽憎葬泽凿藻泽蚤早灶藻凿葬灶凿枣葬遭则蚤糟葬贼藻凿枣燥则贼澡藻枣蚤则泽贼 贼蚤皂藻援 粤枣蚤曾藻凿贼则怎藻贼蚤皂藻凿藻造葬赠燥枣源苑责泽憎葬泽葬糟澡蚤藻增藻凿遭赠葬造藻灶早贼澡凿蚤枣枣藻则藻灶糟藻燥枣猿 怨愿猿滋皂遭藻贼憎藻藻灶贼澡藻贼憎燥葬泽赠皂鄄 皂藻贼则蚤糟葬则皂泽援 栽澡藻灶贼憎燥贼澡藻则皂燥鄄燥责贼蚤糟葬造灾葬则蚤葬遭造藻韵责贼蚤糟葬造粤贼贼藻灶怎葬贼燥则泽渊灾韵粤泽冤憎藻则藻蚤灶贼藻早则葬贼藻凿蚤灶贼澡藻贼憎燥葬则皂泽则藻鄄 泽责藻糟贼蚤增藻造赠贼燥贼怎灶藻贼澡藻燥责贼蚤糟葬造责燥憎藻则蚤灶凿蚤增蚤凿怎葬造造赠援 栽澡藻责澡葬泽藻泽澡蚤枣贼则葬灶早蚤灶早枣则燥皂园毅贼燥灶藻葬则员愿园毅枣燥则葬员园郧匀扎 皂蚤糟则燥憎葬增藻泽蚤早灶葬造澡葬泽遭藻藻灶葬糟澡蚤藻增藻凿遭赠贼澡藻砸陨增葬则蚤葬贼蚤燥灶燥枣园耀远伊员园原猿 蚤灶灾韵粤泽援 栽澡藻凿藻增蚤糟藻憎澡蚤糟澡澡葬泽葬增藻则赠 糟燥皂责葬糟贼泽蚤扎藻糟燥怎造凿遭藻藻葬泽蚤造赠蚤灶贼藻早则葬贼藻凿蚤灶泽蚤造蚤糟燥灶燥责贼燥藻造藻糟贼则燥灶蚤糟糟澡蚤责泽葬灶凿藻曾责藻糟贼藻凿贼燥遭藻憎蚤凿藻造赠怎泽藻凿蚤灶韵责贼蚤鄄 糟葬造造赠悦燥灶贼则燥造造藻凿孕澡葬泽藻凿粤则则葬赠砸葬凿葬则泽渊韵悦孕粤砸泽冤援 运藻赠憎燥则凿泽院责澡葬泽藻泽澡蚤枣贼藻则曰皂蚤糟则燥憎葬增藻责澡燥贼燥灶蚤糟泽曰杂蚤造蚤糟燥灶燥灶陨灶泽怎造葬贼燥则渊杂韵陨冤 基于杂韵陨非对称马赫曾德尔结构的集成矢量和 微波光子移相器 肖永川袁瞿鹏飞袁周敬然袁刘彩霞袁董摇 玮袁陈维友 渊吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室袁吉林长春员猿园园员圆冤 摘要院设计和分析了一种基于杂韵陨渊绝缘体上的硅冤脊型波导非对称马赫曾德尔结构的集成矢量和微波光子移相器遥 对 于员园郧匀扎的微波信号袁设定非对称两臂的长度差为猿怨愿猿滋皂时袁其相应的时间延迟约为源苑责泽遥 分别在两臂上集成了一 个热光可调谐可变光衰减器用于光学调谐袁当衰减单元的折射率在园耀远伊员园原猿变化时袁实现了员园郧匀扎微波信号在园耀 员愿园毅的相位调谐遥 该器件尺寸小尧结构紧凑袁易于实现片上集成袁在光控相控阵雷达中很有应用前景遥 关摇 键摇 词院移相器曰微波光子学曰绝缘体上的硅 中图分类号院栽晕圆缘远摇 摇 文献标识码院粤 摇 摇 收稿日期院圆园员员鄄园源鄄员员曰修订日期院圆园员员鄄园苑鄄员猿 摇 摇 基金项目院国家自然科学基金资助项目渊晕燥援远员园苑苑园源远冤袁吉林省科技发展计划资助项目渊晕燥援圆园园怨园员园缘冤袁吉林大学基 本科研业务费资助项目渊晕燥援圆园园怨