传感器及实用检测技术课件第5章.pptVIP

第5章　磁敏传感器及检测 5.1　概　　述　　磁敏传感器:是对磁场参量(B,H, ￠)敏感的元器件或装置,具有把磁学物理量转换为电信号的功能。 作用:是在有效范围内感知磁性物体的存在或者磁性强度。这些磁性材料包括永磁体外、顺磁材料(铁、钴、镍及其它们的合金)、通电(直、交)线包或导线周围的磁场。  5.2　磁敏检测方法1.磁电感应法测磁场:变磁通式和恒磁通式。2.磁通门磁强计测磁场3.磁阻效应测磁场:一类是半导体磁敏电阻;一类是金属薄膜型磁敏电阻。4.PN结效应测磁场： 1.磁敏二极管 2.磁敏三极管 5.2.1　磁电感应法测磁场　　磁电感应法测磁场的理论基础为电磁感应定律。 当导体在稳恒均匀磁场中沿垂直磁场方向运动（切割磁力线）时,导体内产生的感应电势为 图5－1 磁电感应法测磁场原理 若磁场按正弦规律变化,则穿过测量线圈的磁通也按正弦规律变化,即 　　　　如果能够测量出感应电动势e的有效值U,再算出穿过线圈的磁通幅值￠m,若测量线圈的面积是S,则被测磁场的感应强度的幅值Bm和磁场的幅值Hm为 　　根据以上原理,人们设计出两种磁电式传感器结构:变磁通式和恒磁通式。　　变磁通式又称为磁阻式,图5－2所示是变磁通式磁电传感器,用来测量旋转物体的角速度。其中, (a)图为开磁路变磁通式：线圈、磁铁静止不动,测量齿轮安装在被测旋转体上,随被测体一起转动。每转动一个齿,齿的凹凸引起磁路磁阻变化一次,磁通也就变化一次,线圈中所产生感应电势的变化频率等于被测转速与测量齿轮上齿数的乘积。这种传感器结构简单,但输出信号较小,且因高速轴上加装齿轮较危险而不宜测量高转速的场合。 (b)图为闭磁路变磁通式：它由装在转轴上的内齿轮和外齿轮、永久磁铁和感应线圈组成,内、外齿轮齿数相同。当转轴连接到被测转轴上时,外齿轮不动,内齿轮随被测轴转动,内、外齿轮的相对转动使气隙磁阻产生周期性变化,从而引起磁路中磁通的变化,使线圈内产生周期性变化的感应电动势。显然,感应电势的频率与被测转速成正比。 图5－2　变磁通式磁电感应传感器 5.2.2　磁通门磁强计测磁场　　磁通门式磁敏传感器又称为磁饱和式磁敏传感器。 原理根据：它是利用某些高导磁率的软磁性材料(如坡莫合金)作磁芯,以其在交变磁场作用下的磁饱和特性及法拉第电磁感应原理研制成的。 图5－3　磁通门磁强计的探头结构 　　结构：磁通门磁强计由探头和测量电路两部分组成。探头实际上是一个磁传感器,由高导磁低矫顽力的软磁材料制成,其上绕有励磁线圈N1和测量线圈N2,结构示意图如图5－3所示。 工作原理：励磁线圈N1中流有三角波恒流源励磁电流i1(当然也可以是方波、正弦波等波形,还可以是恒压源),电流i1足够大,使铁芯充分饱和。 假设铁芯有如图5－4(a)所示的折线型磁特性,铁芯中的直流磁场h0=0, 在图5－4(b)中所示的交流三角波励磁磁场H作用下,铁芯中的磁感应强度B(或磁通)是对称的梯形波,如图5－4(c)所示。 对称的梯形波的上升沿和下降沿在测量线圈中感应出的电动势e将是对称的方波,如图5－4(d)所示,图中t1=t2。对该方波进行谐波分析发现,其中只有奇次谐波而没有偶次谐波。 图5－4　磁通门磁强计探头工作原理图 偶次谐波的大小和相位分别反映了直流磁场的幅值和方向,测量出测量线圈中偶次谐波电压的幅值和相位即可测得直流磁场的大小和方向。 图5－5　磁芯的种类 5.2.3　磁阻效应测磁场　　1.磁阻效应　　－指某些材料在加上外磁场时,其电阻值随磁场强弱而变化的现象。　　当温度恒定时,在弱磁场范围内,电阻与磁感应强度B的平方成正比。对于只有电子参与导电的最简单的情况,理论推导磁阻效应的表达式为 当电阻率变化为Δρ=ρB-ρ0时,电阻率的相对变化为 　　2.分类及特点　　磁敏电阻主要分成两大类:一类是半导体磁敏电阻;一类是金属薄膜型磁敏电阻。　　半导体磁敏电阻特点：适用于可以放置较强永磁体的各种传感器,具有原始信号强、灵敏度高、后序处理电路简单等。　　 　　金属薄膜型磁敏电阻形成：是将坡莫合金沉淀在衬底上形成薄膜,经光刻制成各种型号的MR芯片。 特性：由于坡莫合金材料的各向异性,在外加磁场下,与通电电流平行和垂直的两个方向所体现的电阻率不同,导致MR元件总电阻变化。金属薄膜磁敏电阻对弱磁场非常敏感, 但磁阻变化率较低。　利用磁敏电阻元件开发的的位移、角度、倾斜角、图像识别传感器（是霍尔元件难以实现的）。 5.2.4PN结效应测磁场