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激光刻蚀技术的应用.pdf
第33 卷第5 期 红外与激光工程 2004 年10 月
Vol. 33No. 5 Infr red nd L ser Engineering Oct. 2004
1 1 1 1 2 2 2
王宏杰 , 郭文刚, 董兆辉 , 吕福云 , 杜永超 , 李 超 , 刘建生
( 1. 南开大学 物理科学学院, 天津 300071;
2. 中国 子科技集团公司 第十八研究所, 天津 300168)
: 对激光刻蚀过程中的气化现象进行了热力学分析, 根据不同的材质合理地选取工作条
件, 进行了激光狭缝刻制太阳 池硅片打孔及激光标识的试验, 并对刻蚀结果进行了对比分析, 得
出与理论分析相符的结果
: 激光刻蚀; 激光标识; 光学狭缝; 硅片
: TN249 : B : 2004)
Application of laser etching technology
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WANG Hongjie , GUO Weng ng ,DONG Zh ohui ,LFuyun , DU Yongch o , LI Ch o ,LIU Ji nsheng
( 1.Institute of Physics, N nk i University, Ti njin 300071,Chin ;
2.The 18th Rese rch Institute, Chin Electronic Technology Corpor tion, Ti njin 300168, Chin )
Abstract : The g sifying phenomenon in l ser etching is n lyzed with the theory of he t conduction. Ac
cording to different m teri ls, ppropri te working condition is selected, experiments of engr ving, bro ching
nd m rking by using highpower l ser re oper ted, nd the etching results re comp red. The results show
th t the method is consistent with the theory n lysis nd c n be pplied in m ny fields.
Key words:L ser etching; L ser m rking; Optic l slots; Silicon w fer
,
0 ,
, , ,
,
[ 1, 2]
,
, , ,
, 75 m,
: :
: ( 1959) , , , , ;
470 红外与激光工程
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