低相位噪声毫米波平面振荡器研究 study of millimeter-wave planar oscillator with low phase noise.pdfVIP

第6期 微细加工技术 No．6 2008年12月 MICROFABRICATl0NTECHNOLOGY Dec．，2008 1-03 文章编号：1003．8213(2008)06．003 低相位噪声毫米波平面振荡器研究 程知群，周云芳，张胜 (杭州电子科技大学，射频电路与系统教育部重点实验室，杭州310018) 摘要：设计了一种低相位噪声毫米波平面振荡器电路，采用在振荡器谐振端嵌入缺陷接地结构(DGS)方法来改善 振荡器的相位噪声；同时在振荡器混合集成中采用了芯片倒扣技术减小寄生效应。分析并比较了嵌入和未嵌入 dB一 DGS结构两种振荡器电路的性能。测试结果表明，嵌入DGS结构的振荡器相位噪声比未嵌入的降低了5 7dB。 关键词：缺陷接地结构；相位噪声；倒扣芯片；毫米波振荡器 中图分类号：TN75 文献标识码：A 实现。共面波导线的特征阻抗为50Q，对应的线宽80 1 引言 ptm，传 输线与地间的间隙为60肛m，传输线长度1000肛m。在传输 线两边对称的地面中开出的槽线宽度5m。图2给出了 J。 相位噪声是衡量振荡器性能好坏的一个重要参数u‘3 DGS结构的仿真和测试结果。仿真的最大频率为45GHz，由 相位噪声越低，系统的性能越好。介质谐振器是一种实现低 于测量设备的限制，最大频率只到40GHz。从图中看出，正 相位噪声振荡器的有效方法。但是，它不能与平面电路集成， 向传输s2，和端口反射．sll系数随频率的变化关系，即仿真的 无法在微波单片集成电路中应用。近几年来，DGS结构应用 谐振频率为35．6GHz，测试的谐振频率36．5GHz，测试结果 于微波电路日益引起人们的兴趣，研究证实，将DGS结构应 和仿真结果存在小的偏移，这是由于工艺过程中过腐蚀引起 用于振荡器电路可以降低振荡器的相位噪声，也便于平面电 槽线宽度误差造成的。设计中电磁场仿真使用IE3D软件。 路的集成[3-5]。DGS结构表现为在某些频段为阻带，而在其 它频段为通带特性。韩国DalAhn所在研究小组首先提出 DGS结构[6|，并将其应用于微波电路中。此后，国际上一些 研究小组开始研究DGS结构及其在微波电路中应用【7。11|。 但是，大多数研究集中在频率为10GHz以下的应用，很少应 用在毫米波段。本文提出了一种毫米波段新型DGS结构，并 应用到毫米波振荡器电路中。同时也设计了一种未嵌入 DGS结构的普通振荡器电路作为比较。研究结果显示，嵌入 新型DGS结构毫米波振荡器，其相位噪声得到明显的改善。 2新型DGS设计 图1 DGS版图 图l给出了新型DGS结构版图，电路的衬底用GaAs材 料，传输线为共面波导结构(CPW)。两边地平面开出的槽线 3振荡器电路设计 形成等效的