行波电渗微流体驱动仿真和实验研究 simulation and experiment of a traveling wave electroosmotic pumping microflow.pdfVIP

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2017-08-25 发布于上海
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行波电渗微流体驱动仿真和实验研究 simulation and experiment of a traveling wave electroosmotic pumping microflow

MEMS器件与技术 MEMS DeviceTechnology 行波电渗微流体驱动仿真和实验研究杨胡坤，姜洪源，尚栋，闫辉 (哈尔滨工业大学机电工程学院，哈尔滨150001) 摘要：为了探讨在封闭通道内微流体在行波电渗作用下的流动状态，进行了行波电渗微流体驱动实验及仿真研究。通过对行波电渗微流体驱动原理的分析，建立了行波电渗微流体驱动数学模用建立的边界条件，确定了行波电渗在微通道内电势及电场的分布，通过对电场及流场问题的耦舍求解，获得了微通道内行渡电渗微流体驱动流场。分析表明，其仿真计算结果与实验结果具有较好的一致性，从而验证了行波电渗微流体驱动理论模型的正确性，为进一步研究和分析行波电渗微泵提供了理论工具和仿真手段。关键词：行波电渗；微流体驱动；理论模型l实验；仿真中图分类号：0361．4文献标识码：A文章编号：1671—4776(2009)03—0166—04 of Wave Simulationand a ExperimentTraveling ElectroosmoticMicroflow Pumping Hukun，Jiang Hui Yang Hongyuan，ShangDong，Yan (SchoolMechatronics Institute 150001，China) of Engineering，HarbinofTechnology，Harbin wave microflowina closedmicro— Abstract：The electroosmosis(TWEO)pumping traveling modelof TWEO channelwasstudiedthe andsimulation．Themathematicalthe by experiment microflowwere after themechanismsoftheTWEOmicroflow pumpingpresentedanalyzing pum— in with distributionsofelectric andelectricfieldwerecalculatedaccordance ping．The potential the thattheelectric distributioninamicrochannelsatisfies principle potential Laplaceequation andthe Navier-Stokesand electricand conditions．With boundary