基于多光束干涉原理的相移算法研究！.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 % * $ * ， ， ， A/B ’% @/ ’* C0BD $ （ ） !4#$86$6% * 6#!4* ,9:, ;=?9, ?@?9, !$ 9E2F ’ ;EDG ’ /H ’ 基于多光束干涉原理的相移算法研究! 罗志勇 杨丽峰 陈允昌 （中国计量科学研究院，北京 !!# ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $% !! $% !$ !# 针对多光束干涉原理的相移算法包括算法误差及步长优化等问题，以菲索干涉仪精密测长为应用背景进行了 研究 利用干涉光学的基本原理导出了在多束光干涉（经光学面多次反射、透射）的情况下干涉光强随相位分布的 ’ 精确公式；在此基础上，通过数值分析的方法得出了利用菲索干涉仪精密测长的相移步长的优化取值范围和干涉 光束最佳初相位差的范围；对余弦依赖算法所引起的光强误差分别就四步法、五步法得出了不同的依赖关系；并对 多光束干涉算法中几种主要的误差来源进行了不确定度评估’ 关键词：相移算法，多光束干涉，精密测长，不确定度 ： ， ， !## (#) *( ($ 仪，特别是在反射面反射率较高时，算法误差的影响 !- 引 言 将是十分严重的；其次在相移技术中步长、干涉光束 初项差的选取对于减小相位测量误差也是十分关键 相移技术已在表面形貌测量和精密测长技术中 的，目前国内外尚无作者对此问题进行深入研究’ 本 得到了广泛的应用 它是通过对多幅干涉图像提取 文将针对上述问题，以菲索干涉仪精密测长为应用 ’ 光强信息，利用相移算法计算得到被测对象的相位 背景，利用波动光学的基本原理推导出了在多束光 信息 由于计算机及图像处理技术的发展，使它成为 干涉（经光学面多次反射、透射）的情况下干涉光强 ’ ［，］ 比较容易实现和推广的一种高精度测量方法! $ ’ 随相位分布的精确公式；在此基础上，通过数值分析 相移算法是相移技术中决定形貌或位移测量精 的方法得出了利用菲索干涉仪精密测长的相移步长 度的关键技术’ 借助于两束光的相移产生的相位干 的最佳取值范围，特别是干涉光束初相位差范围的 涉图，基于干涉光强信号的余弦分布依赖产生了一 选取对提高相位测量准确度是十分关键的；此外本 ［］ 系列的标准算法$ ，如三步算法、四步算法、五步算 文还就几种主要的误差来源包括余弦依赖算法误差 ［，］ ［］ # % 进行了不确定度评估’ 本文结果对于利用菲索干涉 法、最小二乘法 和 算法 等 但是，在实 ./01231 ’