直接附着式声表面波气体传感器的灵敏度分析 analysis on sensitivity of surface acoustic wave gas sensor with direct-condensation mode.pdfVIP

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2017-08-27 发布于上海
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直接附着式声表面波气体传感器的灵敏度分析 analysis on sensitivity of surface acoustic wave gas sensor with direct-condensation mode.pdf

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直接附着式声表面波气体传感器的灵敏度分析 analysis on sensitivity of surface acoustic wave gas sensor with direct-condensation mode

第32卷第4期压电与声光 V01．32No．4 2010年8月 PIEZOELECTRICS＆ACOUSTOOPTICS Aug．2010 文章编号：1004—2474(2010)04—0524—04 直接附着式声表面波气体传感器的灵敏度分析刘久玲，李红浪，何世堂 (中国科学院声学研究所，北京100190) 摘要：分析了直接附着式声表面波气体传感器的灵敏度。运用分层介质理论，对压电基底表面附着液膜后液膜参数变化所引起的频率变化进行分析，给出了相应的计算结果；然后计算了在500MHz工作频率、考虑液膜轻度粘滞性时，声表面波气体传感器的检测下限，结果为10，9量级；最后将计算结果与实验结果进行比较并得到验证。关键词：气体传感器；声表面波；气相色谱；灵敏度中图分类号：TN65 文献标识码：A on ofSurfaceAcousticWaveGasSensorwith AnalysisSensitivity Direct—CondensationMode LIU Jiuling，LIHonglang，HEShitang (InstituteofAcoustics，TheChinese of 100190，China) AcademySciences，Beijing Abstract：Theon ofsurfaceacousticwave sensorwithdirect—condensationmodewas analysissensitivity gas inthis causedthe ofthe ofthe thin cohered presentedpaper．Thefrequencyvariety by variety parametersliquidlayer onthesurfaceofthe substratewas basedonthe of materialstructure．The piezoelectric analyzed theorylayered simulationresultswere the ofthesurfaceacousticwavesensor correspondingtheory presented．Thensensitivity gas withdirect—condensationmodewascalculatedtObe levelontheconditionthatthe was ppb workingfrequency 500MHzandthe thin wasconsidered simulationwasvalidatedthe liquid layer low-gradeviscosity．Thetheory by results． experiment acoustic Keywords：gassensor；surfacewave(SAW)；gaschromatography(GC)；sensitivity 在公共安全、食品、饮料