质子交换铌酸锂波导的退火工艺 annealed technology of proton exchange linbo3 waveguide.pdfVIP

光 电子技术与信息 Optoelectronic 2006 17 Technology＆InformationMar；19(2) 质子交换铌酸锂波导的退火工艺 罗辉，戴基智，杨亚培，包洪涛，赵天卓，佟会 (电子科技大学光电信息学院，四川 成都 610054) 摘 要： 介绍了质子交换铌酸锂波导的制作工艺，比较分析了不同切向、不同退火温度、不同退火时间下铌酸 锂波导的特性． 关键词：光波导；退火质子交换；铌酸锃光波导 中图分类号：TN252 文献标识码：A 文献编号：1006-1231(2006)02—0017—05。 Annealed ofProton LiNb03 TechnologyExchangeWaveguide LUO Hui Hui，DAIJi—zhi，YANGYa-pei，BAOHong-tao，ZHAOTian—zhuo，TONG of ofElectronicScienceand of (SchoolOptoelectronicInformation，University TechnologyChina， Chengdu610054，China) Abstract：Theof LiNb03 wasintroducedandthe of technologyprotonexchangedwaveguide LiNb03 withdifferent andannealedtimewere waveguide cuttingorientation，annealedtemperature compared． proton waveguide Keywords：waveguide；annealedexchange(APE)；LiNb03 1 引 言 可以由后续的退火工艺在较大的范围内得到调节。 但是质子交换法不适于y切铌酸锂晶体，这是 由于y切铌酸锂在大部分酸中会发生表面腐蚀。本 LiNb03晶体具有大的电光、声光及非线性光 学系数，材料的化学性能稳定，被广泛用于制备备 文在介绍质子交换铌酸锂波导制作工艺的基础上， 种光波导器件，成为集成光学最常用的无机介电晶 对在不同退火温度和不同退火时间下x切和z切 体材料。对于不同的电场方向，应该选择合适的晶 铌酸锂波导的特性进行了比较分析。 体取向，以便获得最大的电光系数。当电极电场方 2 质子交换铌酸锂波导的制作工艺 向平行于铌酸锂基片表面，应选择x切y方向传 播的铌酸锂基片，同时光波导传播模应为TE模， 一般选用苯甲酸(CoH5coon)做为质子源。 其导光电场偏振方向与电极电场方向一致；亦可选 苯甲酸在室温下是白色粉末，熔点121℃，大气压 择y切x方向传播的基片，光波仍为TE模。当 电极电场方向垂直于基片表面，应选择z切铌酸锂 甲酸熔融液中，就会发生Li+HH+交换，在晶 基片和TM偏振状态的光传输模。铌酸锂制作光波 导有两种常用的方法： Ti扩散法[1】和退火质子交 z0．5。在此温度范围内，苯甲酸化学性质稳定， 换法[2|。质子交换法同Ti扩散法相比具有以下优毒性小，且对x切、z切Li