自动切割机刀具破损检测方法 blade breakage detection technique of automatic dicing saw.pdfVIP

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2017-08-27 发布于上海
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自动切割机刀具破损检测方法 blade breakage detection technique of automatic dicing saw.pdf

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自动切割机刀具破损检测方法 blade breakage detection technique of automatic dicing saw

团盛础墓鳖型遮皇型量自动切割机刀具破损检测方法孙敏．杨云龙 (中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京101601) 摘要：文章介绍了自动切割机的刀具破损的检测原理，并进行了方法设计。对实验得到的数据分析后，结合统计学方法，使用引进的几个基本统计量，进行了算法设计，得到了一套针对有效的自动切割机的刀具破损检测方法。关键词：自动切割机；刀具破损检测；基本统计量中图分类号：TN247 文献标识码：A Blade Detection ofAutomaticSaw Breakage Technique Dicing SUNMin．YANG Yunlong 45th Research (The Institute，CETC，Beijing101601，China) article the Abstract：Thisintroduceblade detection ofautomaticsaw，and breakage principle dicing themeasure．After the basic the statistics 5 statistics design analyzingdata，combine technique，use variableswhichwasintroduced the theblade detection into，designarithmetic，finallyget breakage whichaimattheautomaticsaw． technique dicing Keywords：Automaticdicingsaw；Blade detection；Basalstatisticalvariable breakage 自动切割机即针对为划切对象的自动砂轮划片的新兴的表面贴装芯片封装技术。正是因为划切对象设备。砂轮划片机是以强力磨削为划切原理，空气静特殊性，使得自动切割机和传统的砂轮划片机有一些 000～60000 压电主轴为执行元件，以30 r／min的不同。基板为塑料材质，本身在制作过程中就对通道平转速磨削晶圆的划切区域，同时承载着晶圆的工作台以一定的速度沿刀具与晶圆接触点的划切线方向旱直线运动，将每一个具有独立电气的芯片分裂出来。工作原理如图l所示。 Flat No．LeadPack- 方形扁平无引脚封装(Quad age)是一种焊盘尺寸小、体积小、以塑料作为密封材料图1 原理示意图收稿日期：2010．11．18 基金项目：国家02科技重大专项资助项目(2009ZX02010．14)。万方数据测试与测量星鄹嘲瑚幽；髓瞄秘岛鲰潮趣咝幽塑鳢一■i■_‘一