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冷场发射扫描式电子显微镜fieldemissionscanningelectron
冷Field Emission Scanning Electron Microscopy(FE-SEM)
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—理 1. SEM 1. SEM (Hitachi S-2400) 300
金臨EDS
2. SEM (Hitachi S-800)
林 500
3. SEM 40
(02) 3366-2804
(02) 2364-5490 4. 臨 800
cytang316@.tw 5. 金 400
6. 800
7. EDS (in Hitachi 2400 SEM)
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1. (Acceleration 1. 理 1. SEM 600 2hr
樓 樓 Voltage) 0.5 ~ 40 kV 臨CPD 金離 2. Polaroid 667 Photos 100
2. 率(Magnification) Coating 3. 臨500
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(04) 2284-0781 311 3. 力 (Resolution) 理 5. 300
(04) 2285-1669 3nm (Top Stage), 2. 量 6. 量500
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