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课程结业报告 课程名称： 科学计算选讲 报告名称：最小二乘拟合在纳米坐标测量技术中的应用 姓 名： 武志超 学 院： 精密仪器与光电子工程学院 学 号： 1012202041 最小二乘拟合在纳米坐标测量技术中的应用 武志超 精密仪器与光电子工程学院 1012202041 三坐标测量机是近几十年发展起来的功能十分强大的测量设备，因其通用性强、精度高、效率高，有“测量中心”之称。现阶段的坐标测量，大部分应用于大型工件的检测，而对于精度在微纳米级的微小工件，坐标测量的手段还并不完善。而当今微纳米加工制造业的迅猛发展，要求更加丰富的测量手段，因此各国的国家计量机构和各大商用三坐标测量机厂商开始对微纳米坐标测量机进行研究，并且有了很大进展。 1、圆的最小二乘拟合 设工作平面为XY，测量点集合为Pi（xi，yi）（i=1,2,3…N），设理想圆方程为： (1) 求拟合圆的过程就是求上式中圆心（x0，y0）和半径R的值。按最小二乘法定义，目标函数应为： (2) 由于表达式非常复杂，求偏导之后为非线性方程组，不易求解。为了避免求解非线性方程组，需要进行线性化处理。展开式(1)并整理得： (3) 当圆心（x0，y0）位于原点附近时，可以认为x02与y02是高阶微量，令 则式(3)可以写成： (4) 根据最小二乘原理，目标函数为： (5) 根据极值条件得： ，， 解得： (6) 其中， 由以上推导可以看出，只有当圆心坐标（x0，y0）足够靠近原点时，才能做上述线性变换。若（x0，y0）绝对值较大，会带来线性变换误差，这时需要以求得的圆心坐标为新的坐标原点，对测量点集进行坐标平移后再进行最小二乘拟合，直到求得的圆心足够靠近原点。 2、实验及结论 圆的测量可以检验测量系统二维几何要素的测量精度。本实验对标称直径9.9997 mm的三等环规进行测量，并简要分析了误差来源。 实验方法： 选用测端直径500 μm，测杆长度6.8 mm的Gannen XM测头。选择圆柱面上同一高度的测量点进行点位测量，通过最小二乘拟合的方法，计算直径，与标称直径进行对比。 实验结果及分析： 测量过程如图1所示。 图 1 测量效果图 直接对测量结果进行最小二乘圆拟合，计算得出，圆直径为9.516724 mm，由于测头坐标计算是以测端球心为基准，需要进行测头半径补偿。已知测头的测端直径500μm。补偿后，计算得圆直径为10.016724 mm。环规标称直径为9.9997 mm，三等环规的测量不确定度为0.8 μm，即真值应在9.9989 mm至10.0005 mm范围内。测量值在置信区间外0.2 μm左右，这一方面是由于测头的圆度误差影响测头半径补偿的准确性；另一方面，该最小二乘拟合算法默认被测圆处于水平位置，即各点高度值相同，实际测量中，各测量点的高度值存在149 nm的偏差，因此该算法存在算法误差。图2为算法误差产生原因示意图。 图 2 误差产生原因示意图 三维微触觉测头由于测端过于微小，难以获得合适的参考基准，因此无法对其进行圆度误差测量。圆度误差会导致测头的半径补偿出现偏差。同时，在进行半径补偿时，选取了测端标称半径为实际补偿值，其准确性未知。本实验误差的主要来源可能为测端圆度误差及测端半径的准确性对测头半径补偿的影响。 结论： 由于时间关系，没有对圆柱体直径的拟合算法进行深入研究。由计算结果可以看出，虽然存在种种误差，本系统测量结果还是非常接近真实值，而其提供的法向向量，可以为改进算法、提高算法精度提供参考。 附：拟合程序 probx=cdata(:,1);%读入测头数据 proby=cdata(:,2); probz=cdata(:,3); nmmx=cdata(:,4);%读入测量机数据 nmmy=cdata(:,5); nmmz=cdata(:,6); q=size(cdata); n=q(1); posx=probx+nmmx;%获取测点坐标值 posy=proby+nmmy; posz=probz+nmmz; sumx=sum(posx); sumy=sum(posy); sumz=sum(posz); sumx2=sum(posx.^2); sumy2=sum(posy.^2); sumz2=sum(posz.^2); sumxy=sum(posx.*posy); sumxz=sum(posx.*posz); sumyz=sum(posz.*posy); sumx3=sum(posx.^3); sumy3=sum(pos