ZZ1100箱式真空镀膜机说明书.docVIP

概 述 本设备采用箱式结构，抽气系统后置，便于拆卸和维修。整机表面平整，便于清洁，适合净化间安装。蒸发室全部采用不锈钢制造，外有可通冷、热水的护罩，可对壁进行加热(热水器选配)或冷却。蒸发室底板有足够的面积布置蒸发源和各种接头。阀门采用气动，操作方便，使用可靠。液氮冷阱和水冷挡板设计为一整体。蒸发室抽气口也设置一光学密封机械挡板，因此可使蒸发室的油污染降低到极低的程度。本设备配备的抽气元件抽速较大，因此具有抽气时间短，工作真空度高，生产周期短等特点。 本设备适用于镀制各种多层光学薄膜和电学膜。是有关工厂、研究院和大专院校进行生产和科研的理想设备。 主要技术数据 2.1真空： 2.1.1极限真空：2×10-4Pa。 2.1.2恢复真空：从大气→2×10-3Pa≤10min。 2.2 蒸发室： 2.2.1直径：内部为φ1100mm。 2.2.2内腔尺寸：φ1100×1300mm。 2.2.3底板上有45个φ33.5通孔和2个斜光路孔。 3.3工件夹具： 2.3.1外径φ1000mm。 2.3.2锥形球面夹具： 2.3.3夹具转速N=3～31r.p.m。 2.4基片烘烤：可安装上下烘烤装置或其中一种，上烘烤为电阻丝（管状加热器）18KW(350℃全烘烤)；下烘烤为碘钨灯8KW(选配)，最高烘烤温度350℃，有上下烘烤接口。 2.5电阻蒸发电极：由技术协议确定， 功率5KW/只。 2.6 2.7离子轰击：轰击电压0—300V 2.8抽气系统 2.8.1 主泵：K-630高真空油扩散泵，抽速12000L/s 2.8.2 前级泵：ZJP-300罗茨泵，抽速300L/s 2.8.3 2X-70机械泵：抽速70L/s 2.9光路系统： 2.9.1透、反射光路。 2.9.2六位(12位)比较片，另留一石英探头位置。 2.10其它 2.10.1电源：3相 220V/380V 50Hz 2.10.2总功率：约40KW 2.10.3耗水：约30L/min 2.10.4压缩空气：5～6Mpa 2.10.5水压:0.2～0.25MPa 2.10.6总重量：（包括控电柜）约5吨 2.10.7外型尺寸：主机：1390×3500×2300（宽×深×高）控电柜：1400×600×2100（宽×深×高） 工作原理及结构说明 该镀膜机由主机、控电柜二部份组成。 3.1主机部分： 该主机在形式上与一般钟罩式镀膜机比较有显著的不同。它没有升降系统，这就带来很多方便。它可使工作间的高度大大降低，工作间的墙可以把蒸发室与脏的机械部份分开，有利于工作间的净化、操作和维修都极为方便。蒸发室的壁由于是固定的，因此测厚系统保持相对稳定。 3.1.1蒸发室： 由箱体和门组成。两者用铰链连接，“O”型真空橡胶圈密封，密封压力主要依靠作用于门上的大气压力，预压力通过门上的凸轮压紧机构和铰链弹簧产生。门上有两个φ125mm的视镜座，安装有挡板装置，观察孔径φ125mm，观察蒸发室工作情况。箱体和门全部用不锈钢制造，蒸发室由下列各部分组成： 3.1.1.1工件驱动装置：由位于蒸发室外的直流电机、蜗杆、蜗轮减速器和离合器与位于蒸发室内的一对啮合齿轮和工件架等组成。直流电机的转动，通过减速器减速，带动离合器，使工件架转动。直流电机可以无级调速。位于真空室内侧的大轴承带有水冷套，避免由于蒸发室内温度过高而引起卡死现象发生。该装置可以安装球面帽形夹具，平面园盘夹具，行星夹具，扇形平面夹具，还可以安装其它形式的夹具，并且互换非常方便。 3.1.1.1.1帽形球面夹具：由骨架和一个球形盘组成，骨架固定在驱动装置的三根螺杆上。 3.1.1.1.2扇形球面夹具：由骨架和四个扇形球面盘组成，骨架固定在驱动装置的三根螺杆上。 3.1.1.2电阻蒸发源：4对，共有6个水冷电极，左右分布，由转换开关转换。 3.1.1.3离子轰击装置：由轰击棒和高压引入电极组成。用来对工件进行离子清洁。轰击功率由操作面板上的旋钮调节。该装置仅对工件夹具轰击，为使工件受到均匀轰击，放电时，工件夹具必须转动。 3.1.1.4工件烘烤装置：最高烘烤温度可达350℃，温度可在最高温度下任意设定。 3.1.1.5烘烤引线座：安装于箱体的顶盖上，有4根接线柱，供烘烤电源接线使用。 3.1.1.6挡板机构：共2套，由摆动气缸，扇形挡板组成。摆动速度可调，挡板高度和距蒸发室中心的距离可调。挡板起始位置可调节夹块安装位置来调整。挡板动作可由操作盒上的按钮来控制。 3.1.1.7多脚引线座：共2个安装于蒸发室底板上。蒸发室和电子枪偏转线圈接线通过上下插座连接于此线引座上。维修拆装下插座位置时，注意接线方向，不能插错，该引线座剩余接线柱留作其它引线备用。 3.1.1.8真空测量管座：位于箱体后上方，有多个。供安装各种真空测量管。 3.1.1.9室体放气