垂直腔面激光器.ppt

垂直腔面激光器 垂直腔面激光器 定义 应用 结构及工作原理 优点 垂直腔面激光器的定义 垂直腔面发射激光器 英文名称：vertical cavity surface emitting laser，简称VCSEL 它是一种激光发射方向垂直于pn结平面而谐振腔面平行于pn结平面的半导体激光器 一般应用于材料科学技术、半导体材料、半导体微结构材料及器件 垂直腔面激光器的结构及工作原理 VCSEL主要由三部分组成 (见左图）， 即激光工作物质、崩浦源和光学谐振腔。 工作物质是发出激光的物质,但不是任何时刻都能发出激光,必须通过崩浦源对其进行激励,形成粒子数反转,发出激光,但这样得到的激光寿命很短,强度也不会太高,并且光波模式多,方向性很差。所以,还必须经过顶部反射镜(Top Mirror) 和底部反射镜 (Bottoo Mirror)组成的谐振腔,在激光腔 (Laser Cavity)内放大与振荡,并由顶部反射镜(Top Mirror)输出,而且输出的光线只集中在中间不带有氧化层(Oxide Layers)的部分输出。 这样就形成了垂直腔面的激光发射,从而得到稳定、持续、有一定功率的高质量激光。V CS EL是 以Ga A s和AIGa As作为工作 物质,它们 分布在活性 层 (Gai n Re g i o n)。此工作物 质具 有四 能级系 统的能级结构 形式,根 据条件不 同,可发射 出7 8 0n m、8 5 0 n m和9 80 n m等 波长 的激光。我们 可以把 结构图l简化成工作物质与电流关系的原理图 ,如图2所示 。当P一N结 两 端不 加 电压 时 ,N区 中的 多 数 载 流子—电子 与P区中 的多数 载 流子—空穴 互相 扩散,形成一个内建电场,此时P一 N结相当于一个 阻挡层。当在P一 N结上加正向电压,即N极接负极,P极 接正极,阻挡层被削弱,注入N区的大量 电子流向P区并在结区与空穴复合,放出光子 产生激光 。 垂直腔面激光器的结构及工作原理 VCSEL是以Ga,As和AIGa,As作为工作物质,它们分布在活性层 (Gain Region)。此工作物质具有四能级系统的能级结构 形式,根据条件不同,可发射出780nm、850nm和980nm等波长的激光。把结构图简化成工作物质与电流关系的原理图 ,如图所示 。当PN结两端不加电压时,N区中的多数载流子—电子与P区中的多数载 流子—空穴互相扩散,形成一个内建电场,此时PN结相当于一个阻挡层。当在PN结上加正向电压,即N极接负极,P极接正极,阻挡层被削弱,注入N区的大量电子流向P区并在结区与空穴复合,放出光子产生激光。 垂直腔面激光器的优点 对于高功率应用中，VCSEL关键优势是可以直接加工成单片的2—D阵列 生长技术改善了腔波长为2nm的标准偏差，这允许制造的VCSEL2-D数组数组的元素（1nm的全宽半高谱宽）之间的小波长变化。 由于VCSEL的不受灾难性的光学损伤，其可靠性比边缘发射器高得多 波长 均匀性 波长 稳定性 VCSEL激射波长非常稳定，因为它是由短期（1--1.5波长厚）法布里 - 珀罗腔固定。 可靠性 可扩 展性 垂直腔面激光器的应用 VCSEL在条形码扫描中的应用 条形码扫描器在超市、图书馆等多种行业中被广泛应用。如超市用条形码标示商品价格,并用激光自动扫描和读取条形码。以下将对此过程作简单介绍： 以常用的旋转棱镜扫描器为例 ,条形码扫描器由条形码、激光扫描器、VCSEL和光探测器等组成,如图所示。控制门使激光扫描器通电后,VCSEL发出红光激光束,经过激光扫描器转换光路至条形码,条形码反射的光线由激光扫描器接收,通过集光、滤光将光线射入光探测器,产生光电感应信号,再经放大,整形译码,成为有用信息,传输到主机中。 Thanks