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as压调制的inalas超晶格对inas纳米结构形貌的影响杨新荣-物理学报
As压调制的InAlAs超晶格对InAs纳米结构形貌的影响
杨新荣 周晓静 王海飞 郝美兰 谷云高 赵尚武 徐波 王占国
Effect of As pressure-modulated InAlAs superlattice on the morphology of InAs nanostructures grown
onInAs/InAlAs/InP
Yang Xin-Rong Zhou Xiao-Jing Wang Hai-Fei Hao Mei-Lan Gu Yun-Gao Zhao Shang-Wu Xu
Bo WangZhan-Guo
引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,068101(2015) DOI: 10.7498/aps.64.068101
在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.64.068101
当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2015/V64/I6
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物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 64, No. 6 (2015) 068101
As压调制的InAlAs超晶格对InAs纳米结构
形貌的影响
杨新荣 周晓静 王海飞 郝美兰 谷云高 赵尚武
徐波 王占国
1) (邯郸学院物理与电气工程系, 邯郸 056005)
2)(中国科学院电工研究所, 北京 100080)
3)(中国科学院半导体研究所, 半导体材料重点实验室, 北京 100083)
( 2014 年7 月8 日收到; 2014 年10 月22 日收到修改稿)
利用固源分子束外延设备生长出InAs/InAlAs/InP(001) 纳米结构材料, 探讨了As 压调制的InAlAs 超晶
格对InAs 纳米结构形貌的影响. 结果表明, As 压调制的InAlAs 超晶格能控制InAs 量子线的形成, 导致高密
度均匀分布的量子点的生长. 结果有利于进一步理解量子点形貌控制机理. 分析认为, InAs 纳米结构的形貌
主要由InAlAs 层的各向异性应变分布和In 吸附原子的各向异性扩散所决定.
关键词: InAlAs 超晶格, InAs 纳米结构形貌, As 压调制
PACS: 81.07.Ta, 81.07.Vb, 81.05.Ea DOI: 10.7498/aps.64.068101
层
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