大范围高速原子力显微镜的前馈反馈混合控制方法-光学精密工程.pdf

第 卷 第 期 光学 精密工程 １９ ４ 　 Ｖｏｌ．１９ Ｎｏ．４ 　 　 　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　 　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１１ ４ Ａ ｒ．２０１１ 　 　 　 ｐ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１１０４０８３６０８ 　 大范围高速原子力显微镜的前馈反馈混合控制方法 ， １２ ２ ２ ２ ２ 陈代谢 ，殷伯华 ，林云生 ，初明璋 ，韩 立 　 （ 中国科学院 研究生院，北京 ； 中国科学院 电工研究所 微纳加工研究部，北京 ） １． １０００４９２． １００１９０ 摘要：为了扩大原子力显微镜（ ， ）使用范围，研制了一套大范围高速 系统。针对大 ＡｔｏｍｉｃＦｏｒｃｅＭｉｃｒｏｓｃｏｅ ＡＦＭ ＡＦＭ ｐ 范围高速扫描时犣方向控制问题，提出了前馈反馈混合控制方法。前馈控制包括自动调平前馈和基于前一行扫描前馈， 前者通过多线扫描确定样品倾斜位置，将所有扫描点的倾斜位移差用函数式表达，然后将其换算为 向驱动电压后驱动 犣 下扫描器运动；后者利用前一行扫描高度数据作为当前行 向扫描器驱动的参考输入。反馈控制为在普通比例 积分 犣  （ ）控制基础上改进的动态 参数 控制， 参数设置与误差大小有关。实验结果表明：采用本控制方法最大控制误 ＰＩ 犘 ＰＩ 犘 差由 减小为 ，误差均方根值由 减小为 ，明显抑制了误差信号，提高了 向控制效 ４０．１７ｎｍ ６．０１ｎｍ ２２．８５ｎｍ ２．０１ｎｍ 犣 果，获得了更精确的高度图像。 关 键 词：原子力显微镜（ ）；高速扫描； 向控制；前馈反馈混合控制 ＡＦＭ 犣 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ： ／ ＴＨ７４２．９ＴＮ１６ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ０８３６ 　　 　　 犉犲犲犱犳狅狉狑犪狉犱犪狀犱犳犲犲犱犫犪犮犽犮狅狀狋狉狅犾犾犲狉犳狅狉 犾犪狉犲狉犪狀犲犪