气相沉积法制备聚酰亚胺微球的均匀性及性能-强激光与粒子束.pdf

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气相沉积法制备聚酰亚胺微球的均匀性及性能-强激光与粒子束

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 , 26 7 Vol.26 No.7     年 月 , 2014 7 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Jul. 2014     气相沉积法制备聚酰亚胺微球的均匀性及性能 , 12 1 1 1 1 2 曹 洪 , 黄 勇 , 刘梅芳 , 陈素芬 , 张占文 , 韦建军               ( 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心,四川 绵阳 ; 四川大学 原子与分子物理研究所,成都 ) 1. 621900 2. 610065 摘 要: 为满足惯性约束聚变( )对聚酰亚胺( )靶丸的要求,研究了气相沉积过程单体加热温度对 ICF PI        PI薄膜厚度的影响并测试其均匀性,测试了脉冲敲击模式下复合微球的表面质量。研究了薄膜热环化过程中 的结构变化,并对所得 薄膜进行了热稳定性分析。研究结果表明:脉冲敲击下制备所得复合微球表面粗糙 PI 度均方根值波动在 29 45nm之间,在相同时间内其薄膜厚度随单体加热温度的增加而增加,通过调节不同 ~ 单体加热温度,可将薄膜厚度控制在一定范围;薄膜厚度测试发现其较为均匀,横向和纵向各点厚度相差不足 ;热环化后聚酰胺酸转化为 , 与 结合形成 键;热重分析数据显示 薄膜热稳定性 1 m PICONH COOH C-N PI μ 较好, 左右才开始大量分解。 600℃ 关键词: 微球; 表面质量; 结构; 热稳定性 PI            中图分类号: 文献标志码: : / TL639.11 A 犱狅犻10.11884HPLPB201426.072008                聚酰亚胺( )微球,由于具有良好的热稳定性、光学透过性、机械性能以及抗辐射能力,被选为惯性约束聚 PI    [] 1 变( )的候选靶丸 。近几十年来, 涂层一直是国内外研究热点。罗彻斯特大学激光能量实验室( ) ICF PI LLE []

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