闭式静压滑轨动态特性分析及测试-中原大学机械工程学系.pdf

中國機械工程學會第二十四屆全國學術研討會論文集 中原大學 桃園、中壢 中華民國九十六年十一月二十三日、二十四日 論文編號： B11-0020 閉式靜壓滑軌動態特性分析及測試 1 1 1 1 2 2 2 康淵 、賴弘明 、吳宜璋 、張永鵬 、黃仁明 、石世雄 、游欽宏 1 中原大學機械學系 2 中山科學院第二研究所 軌進行運作時，外力對工作台造成的影響，並和實際 摘要 情形做分析比較。 本文探討閉式靜壓滑軌使用毛細管節流時，其工 1975 年 Sukholutskii 等人[11]發表使用薄膜節流 作台受動態負載作用時，隨外加衝擊而改變之油膜剛 器的閉式靜壓 滑軌的設計方法。採用薄膜節流器的閉 度與油腔液阻變化。使用模態分析，求得系統共振頻 式靜壓滑軌比傳統的節流器，如毛細管等，較能夠改 率、阻尼比，在不改變機台結構下，探討節流係數調 善滑軌上油膜承載能力與油膜剛度；並且建議了一種 整，增加共振頻率或是提高阻尼比。 薄膜節流器的設計方法，能夠將應用閉式靜壓滑軌在 關鍵字：閉式靜壓滑軌、節流係數、共振。 磨床、鑽床與其他類型的工具機上。 1976 年 Ingert 等 人[12]使用狹縫彈簧式 (Slotted-spring)節流器作為開式 1. 前言 環狀滑軌之壓力回饋元件，有效提高滑軌的剛度，並由 靜壓技術在 1950 年已被應用於工具機之滑軌，用以 計算證實動剛度。 1981 年孟[13]分析毛細管節流之開式 提昇滑軌的工作性能，包括運動精度佳、摩擦功耗低、 靜壓滑軌的油膜與載重特性，並以分析結果提出使用兩 承載能力大、高阻尼與滑軌磨耗低等性能，並受到工 種新型可變毛細管節流器改善油膜與載重特性。 2000 年 業界的注意，其研究開始蓬勃發展。 孟等人[14]使用可變毛細管節流器，探討最佳節流比與最 關於靜壓技術在滑軌上的研究， 1972 年 佳供油壓力。 2004 年楊和孟[15]使用新型可變節流器 Tetlingater[1]研究矩形、 L 形及U 形靜壓滑軌在各種幾何 和靜態性能新表示式，分析靜壓滑軌間隙與承載之間 尺寸及供油壓力下之靜態特性，並依不同工作狀況建立 的關係。 選用之原則。Yakir[2]使用調節器作為一 V 一平開式靜壓 2003 至 2005 年本研究室陳[16]及趙 [17]以外圓磨 滑軌之壓力回饋元件，由實驗證實，其 V軌與平軌皆可 床之開式靜壓滑軌為研究對象，使用毛細管結流器作 獲得高剛度。1973 年 Bushuyev[2]利用理論分析，探討 為壓力調節之元件，探討滑軌尺寸、毛細管節流參數、