干涉条纹处理与位相恢复.pdf

 干涉原理及光程差推导  干涉条纹的对比度概念  典型干涉图及条纹形式  Zernike多项式的数学形式  Zernike多项式的主要特点 - 正交性 - 像差对应性  Zernike多项式的主要应用 - 面形表征 - 波面拟合 精密干涉传感技术与应用精密干涉传感技术与应用 liudongopt@liudongopt@ 刘 东 浙江大学 光学工程研究所 玉泉教三231室 liudongopt@ / 688748 精密干涉传感技术与应用 liudongopt@ Wave line (波线) Wave surface Wavefont 通过波前位相信息获得被测面的面形信息！ (波线) 光程差(OPD) 干涉图 I I I 2 I I cos  1 2 1 2 2  (n L n L )  1 1 2 2 Test part 精密干涉传感技术与应用精密干涉传感技术与应用 liudongopt@liudongopt@ 应用 光学元件 折射率场 表面面形 空间分布  望远镜  流场  显微镜  密度场  照相机  温度场  复杂光学系统  风场等 精密干涉传感技术与应用精密干涉传感技术与应用 liudongopt@liudongopt@ 为什么要进行相位调制？  传统的目视法评估精度较低 估读条纹形变精度1/10 存在系统误差  面形误差方向无法确定  噪声对干涉图影响很大