sige半导体在微电子技术发展中的重要作用 important function of sige semiconductor in technology development of microelectronics.pdfVIP

第38卷第1期 微电子学 V01．38。No．1 2008年2月 MZcroelectronics Feb．2008 SiGe半导体在微电子技术发展中的重要作用 谢孟贤1，古妮娜2 (1．电子科技大学微电子与固体电子学院，成都610054；2．台积电(上海)有限公司，上海201616) 摘要： 及其集成电路的优异特性，论述了SiGe半导体在Si基微电子技术发展中的重要作用；特别强调了 应变增强载流子迁移率一应变工程技术的重要作用。介绍了SiGe器件及其集成电路的发展概况。 关键词： 体管；应变工程；SiGe-FET 中图分类号：TN304．2+4 文献标识码： A 文章编号：1004—3365(2008)01—0034一10 FunctionofSiGeSemiconductorin Important Technology ofMicroelectronics Development XIE Ni—naz Meng-xianl，GU 610054，P．R．China； 2．Product 201616。P．R．China) Design＆roiceCenter，TSMC(Shanghai)CompanyLimited，Shanghai with and and excellentcharacter- Abstract：Comparedsi_BJTsi-FET(Ic’s)，SiGe-HBTSi∞FET(IC’s)have istiesin and functionofSiGesemiconductorin of frequency improvement．Important speed technologydevelopment Si-basedmicroelectronisisreviewed．Theroleofstrain O-巴carrierenhancement important engineering mobility by current ofSiGedevicesandICsisdiscussed． usingstrain)isemphasizedspecifically．Moreover。thedevelopment words： Key BJT；H盯；SiC,e-HBT；SiGe-BiCMOS；MODFET；Strainengineering；SiG}唧 EEACC：2520 的应用。因此，在许多模拟电子技术领域，特别是在 1 引t言 高频、高速方面(例如射频功率放大器和激光器)，往 往是GaAs、InP等化合物半导体起主要作用。然 30多年以来，Si一直是半导体工业中占绝对优而，化合物半导体技术难以大规模集成，同时，加工 势的半导体材料。尽管最早采用的是Ge，并且其他 不便、成本较高，所以人们还是希望从si技术中寻 某