pmma薄膜nm尺度下表面电荷的制备和观察 preparation and observation of surface charges on pmma film in micro-nanometer scale.pdfVIP

显微、测量、微细加工技术与设备 Microscope，Measurement， PM MA薄膜nm尺度下 表面电荷的制备和观察 赵慧斌1一，任权1，韩立1 (1．中国科学院电工研究所，北京100080；中国科学院研究生院，北京100049) 式产生了电荷，并用静电力显微镜(EFM)对生成的电荷进行了观察。讨论了生成电荷的极性、 数量、区域大小与摩擦过程中探针加工速度、所加电压大小及正负之间的关系：产生电荷的极性 与摩擦过程中针尖所加电压的正负保持一致，且所加电压越大，产生电荷的区域和面积越大。但 相同情况下，PMMA表面出现的正电荷区域和数量要多于负电荷；针尖带电摩擦时，摩擦速度 越快，产生电荷的数量和区域也随之减小。为探索PMMA表面电荷生成规律及生成机理提供了 一种新的途径。 关键词：聚甲基丙烯酸甲酯；表面电荷；扫描探针显微镜；静电力显微镜 andObservationofSurface Preparation onPMMAFilminMicro-NanometerScale Charges ZHAO Lil Hui-binl‘2，REN Quanl，HAN Electrical (1．Institute 100080，China； of Engtneering，ChineseAcademyofSciences，Belling 2．Graduate Chinese Universityof AcamyofSciences，Beqing100049，China) inmicro—nanometerscale the Abstract：Surface were on surfaeeof charges prepared polymethyl thesurfacewithconductiveSPM these methacrylate(PMMA)filmsbycarving probe，andgener- with ated wereobservedelectrostaticfield charges microscope(EFM)．Therelationshipsamong the ofthestlrface andthe on polarity，quantities，areascharges voltagetip，fabricationspeed were is inaccordancewith onthe while the discussed：Chargespolarity potential tip carving theincreaseofbias on andareas surface；with