si基光子晶体的制备与器件应用 fabrication of si-based photonic crystals and its device applications.pdfVIP

!#$%%’()$#*’ +%,*’% - .%’/#$$01 ! !#$%’()*+,- ! 尚 勇 ! 彭英才 ! ! # 河北大学 !#物理科学与技术学院 # 电子信息工程学院 河北 保定 $%’’( ! $ 摘要 光子晶体是近十年来迅速发展起来的一种新型人工结构的功能材料 本文简要介绍了)* % ! 基光子晶体的主要特点 着重介绍了 基光子晶体的几种主要制备方法 如精细干式蚀刻法 )* 胶质晶体模板法 宏观多孔 的电化学腐蚀 多光子聚合法和核壳结构纳米晶粒镶嵌法等 概 )* % 要介绍了 基光子晶体在 基发光器件和 基光波导器件中的应用 对目前存在的问题进行了 )* )* )* $ 讨论 并展望了它的未来发展趋势 ! $ 关键词 基光子晶体 制备方法 基光子器件 基光子集成 ! )* % % )* % )* 中图分类号! +,-! 文献标识码! . 文章编号! %#,%/0,,# !!, 1/!*1/# !#$%’%() (* +%,-./0 12(’()% 3$4.’5. )0 6’. 7/8%/ 9::5%’%(). : 23.45 6789 $ ’;45 689/=: !:!#$$%% #’ ()*+,-+ .-,%/-% 0/1 2%-)/#$#* $ !#$$%% #’ 3$%-45#/,- 0/1 6/’#5704,#/0$ 3/,/%%5,/ $ 8%9%, :/,;%5+,4* $ 0#1,/ ,%! $ ),/0 9#.’$’ ( ’(7?78= =@AB?:C B : 8DE FG8=?78:C H:?D@@:C IDJDC7KDI 8 @D=D8? % AD:@BL M(D@ H:8 FD:?G@DB :@D 8?@7IG=DIN OD DHK(:?=:CA 8?@7IG=D B7HD K@7=DBBDB 7F 2/:BDI K(7?78= =@AB?:CB $ E(=( :@D F8D I@A D?=(89 $ BC=: BK(D@D ?DHKC:?D $ K(7?7DCD=?@7=(DH=:C D?=(89 7F H:=@7K7@7GB $