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第三讲 电阻传感器原理
应变片在悬臂梁上的粘贴及变形 案例:冲床生产记数 和生产过程监测 案例:机器人握力测量 案例:振动式地音入侵探测器 适合于金库、仓库、古建筑的防范,挖墙、打洞、爆破等破坏行为均可及时发现。 应变式荷重传感器的外形及应变片的粘贴位置 F R 1 R 2 R 4 应变式荷重传感器外形及受力位置(续) F F 荷重传感器原理演示 荷重传感器上的应变片在重力作用下产生变形。轴向变短,径向变长。 (1)导电材料的电阻应变效应 应变效应:导体或半导体材料在外界力的作用下产生机械变形时,其电阻值发生变化的现象。 图示,长 ,截面积为A的金属电阻丝,未受力时原始电阻值为: 电阻应变计的基本原理结构和应用 图2.1 导体受拉伸后的参数变化 当电阻丝受到拉力F作用时, 将伸长dl,横截面积相应减小dA, 电阻率因材料晶格发生变形等因素 影响而改变了dρ,从而引起电阻值相对变化量为: 金属电阻应变片(丝式、箔式、薄膜式) (1)丝式应变片 将金属电阻丝(一般是合金,电 阻率较高,直径约0.02mm)粘贴在 绝缘基片上,上面覆盖一层薄膜, 使它们变成一个整体。 基片 覆盖层 金属丝 引线 金属丝应变片结构 (2)箔式应变片 利用光刻、腐蚀等工艺制成一种 很薄的金属箔栅,厚度一般在 0.003~0.010 mm,粘贴在基片上, 上面再覆盖一层薄膜而制成。 箔式应变片 (3)金属薄膜应变片 薄膜应变片是采用真空蒸镀或溅射式阴极扩散等方法,在薄的基底材料上制成一层金属电阻材料薄膜以形成应变片。 有较高的灵敏度系数,允许电流密度大,工作温度范围较广。 常用应变片的形式 (1)敏感栅——实现应变-电阻转换的敏感元件。通常由直径为0.015~0.05mm的金属丝绕成栅状,或用金属箔腐蚀成栅状。 (2)基底——为保持敏感栅固定的形状、尺寸和位置,通常用粘结剂将其固结在纸质或胶质的基底上。一般0.02~0.04mm。 (3)引线——起着敏感栅与测量电路之间的过渡连接和引导作用。通常取直径约0.1~0.15mm的低阻镀锡铜线。 (4)盖层——用纸、胶作成覆盖在敏感栅上的保护层;起着防潮、防蚀、防损等作用。 (5)粘结剂——制造应变计时,用它分别把盖层和敏感栅固结于基底;使用应变计时,用它把应变计基底粘贴在试件表面的被测部位。因此它也起着传递应变的作用 金属应变计 (2)半导体材料的压阻效应 压阻效应是指单晶半导体材料在沿某一轴向受到外力作用时, 其电阻率ρ发生变化的现象。 优点:体积小,灵敏度高,频率响应范围宽,输出幅值大,不需要放大器。 缺点:其温度系数大,应变时非线性较严重。 应变片的主要参数 4)其它表示应变计性能的参数(工作温度、滞后、 蠕变、零漂以及疲劳寿命、横向灵敏度等)。 1)几何参数:表距L和丝栅宽度b,制造厂常用 b×L表示。 2)电阻值:应变计的原始电阻值。 (60,90,120,300,500,1000) 3)灵敏系数:表示应变计变换性能的重要参数。 应变片的误差及补偿 影响应变片精度的主要因素是温度 为敏感栅材料的电阻温度系数; 是应变计的灵敏系数; 分别是试件和敏感栅材料的线膨胀系数。 电阻变化会带来热输出,通常会造成10%以上的误差。 应变片测量的另一误差来自应变片的大小和测点的位置 温度补偿(自补偿法和线路补偿法) ①? 单丝自补偿应变片 每一种材料的被测试件,其线膨胀系数都为确定值,选择应变片敏感栅材料,使其电阻温度系数和线膨胀系数满足一定条件,可实现温度自补偿。 ②双丝组合式自补偿应变片 两种不同电阻温度系数(一种为正值,一种为负值)的材料串联组成敏感栅,两段敏感栅,随温度变化而产生的热输出大小相等,符号相反。 ③??? 电路补偿法 焊点 Ra Rb 如图,电桥输出电压与桥臂参数的关系为 式中 A——由桥臂电阻和电源电压决定的常数。 USC R2 R4 R1 R3 U 桥路补偿法 由上式可知,当R3、R4为常数时,Rl和R2对输出电压的作用方向相反。利用这个基本特性可实现对温度的补偿,并且补偿效果较好,这是最常用的补偿方法之一。 测量应变时,使用两个应变片,一片贴在被测试件的表面,图中R1称为工作应变片。另一片贴在与被测试件材料相同的补偿块上,图中R2,称为补偿应变片。在工作过程中补偿块不承受应变,仅随温度发生变形。由于R1与R2接入电桥相邻臂上,造成ΔR1t与ΔR2t相同,根据电桥理论可知,其输出电压USC与温度无关。当工作应变片感受应变时,电桥将产生相应输
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