真空系统元件和连接.ppt

真空系统元件及连接;真空系统元件及连接;一、真空阀门;;真空阀的分类和型号;;;真空阀门的工作形式;2、真空球阀;3、真空蝶阀;;4、插板阀;5、挡板阀;6、翻板阀;;7、电磁阀;;8、针阀;9、超高真空阀;;;10、无油玻璃真空阀;;阀门密封结构;;;;;;B 常用压紧方式 （1）螺旋压紧。螺旋压紧方式在真空阀门中应用最广，它的结构简单，制造容易，压紧时增力倍数较大，适于手动、电动两种阀门。其缺点是开关阀门时间较长，传动效率较低。 图13-23为螺旋压紧结构的超高真空阀门。图中1是带刀口的阀座，2是可更换的阀板，他可带导向槽的螺杆3带动。螺母4拧在螺杆3上，其轴向由正推轴承限定，只能转动。当螺母转动时，螺杆3因导向键5的限制，只能作上下移动，或打开阀门或关闭阀门。这种阀门的关键是阀板的关闭要有重合性。经验证明，利用发表那凸出的圆周面和阀腔的内圆柱面精加工配合，可达到阀板粗定位。非结构还利用制动圈6来解决螺母飞退扣问题，效果很好。 ;;（3）链板压紧。 ;（4）弹簧压紧。如图13-13所示的电磁阀结构，其阀板8由弹簧7压紧密封。当电磁线圈4通电时，衔铁6被吸上，阀板被提起打开阀门。;;（6）动力压紧 动力压紧方式有气压、液压和电磁力驱动压紧。如图13-28所示的阀门是靠薄壁钢筒在有压作用下产生弹性变形，与阀体内筒的光滑表面紧密贴合来密封的。当撤去油压时，薄壁钢筒恢复原形，阀塞就可以拉上去打开阀门。 为了解决金属垫密封阀门所需的大压紧力，国外采用了高压气动压紧。如图13-29所示，当阀板推至阀口后，往波纹管中通以高压空气（2.0~3.5MPa）对阀板进行压紧密封。 ;C 压紧装置中的均压、续压和调压措施 为了保证阀门的密封性能，要求阀板压紧密封圈时能自动均压；当大气压压倒阀板上时能允许进一步压紧；又因为密封圈和其他传动件的加工制造误差不可避免，所以阀板压紧程度必须可调。这就是压紧装置的均压、续压和调压问题。在图13-12中的真空阀门中，通过锥面阀座和与之配合的锥面阀板及铰销压紧来自动调匀胶垫的压力；利用压杆头（兼做导向杆8）与阀板螺纹连接来达到压紧程度可调；利用初压后活塞达不到气缸底来实现当大气压压到阀板时，阀板继续压紧密封圈。 ;;;二、捕集器（阱）与除尘器;1、机械捕集器（阱）;;;典型的机械阱的结构;2、冷凝捕集器;冷阱的结构形式;;;冷阱抽速计算;3、吸附阱;;;分子筛吸附阱的使用时注意项;4、其他吸附阱;;;;;除尘器;除尘器的类型;;;;;过滤除尘器的结构;;;;;;电除尘器的结构：;三、真空继电器;1、无触点式真空继电器;;;;2、触电式真空继电器;;四、可拆卸密封连接;密封材料与密封结构;2、橡胶密封材料;常用橡胶密封材料;;橡胶密封槽的形式;3、氟塑料密封材料与结构;;;4、金属密封材料和结构;B、常用金属法兰密封形式;;真空法兰连接;;法兰连接形式;法兰结构形式;;;;;;五、运动导入与动密封连接;;接触式动密封连接;;;;;液态金属动密封连接 液体用于真空动密封的结构原理如图所示，图中（a）是采用液体薄膜密封。他利用小间隙中液体薄膜的表面张力和压差的平衡状态来实现的。在轴1处于静止状态时其可靠的密封条件是;图中（b）是具有液体静密封的装置，其中p1-p2应等于液柱高△x的压力，为了减少所需的液柱高度，一般把密封容器2设置在真空室与单独抽气真空的中间室中间。这种装置的缺点是它只能用于轴处于垂直的位置，而且需要设置中间抽气室。一旦中间室的压力增大，则会产生向真空室喷出密封液体的危险、;;A、磁流体动密封的原理和特点：磁流体是直径小于10nm的铁磁材料微粒通过分散剂的作用，使其均匀地分布在即显示磁性又呈现流动状态的一种胶状态液体。由于这种液体在外场作用下呈现磁性，具有一定的耐压能力。因此在真空设备中作为一种液态密封物质，应用在真空动密封上，是近来真空动密封技术一种成功的尝试。;磁流体密封原理及方式;;B磁流体动密封组件的结构形式 （1）磁流体真空动密封组件的基本结构形式。图（a）是磁流体位于两个支撑轴承一侧且具有轴承润滑的结构。这种结构因转轴径向跳动较大，故密封间隙不能做的太小。 组件震动较小（图b），而且轴向尺寸短，易于保证同心。但存在真空侧轴承污染真空室的问题多用于转速不高，真空度要求较低的场合。 ;（2）带有冷却系统的密封组件的结构形式 当轴的转速较高轴承发热量大时，或工作环境温度高于80℃时，需对磁流体及永久磁铁加设强迫冷却系统，一般的讲，单纯在密封组件外壳外面加水冷却套效果并不理想。为此，常用结构是在导磁极靴上部开设冷槽直接冷却，这时应注意水冷槽不能太深，否则会影响导磁效果；二是将极齿开设在转轴上，而极靴加工成平端，这样磁流体距极靴内的水冷槽更近，冷却效果更好；三是将两片只设有两个单