薄膜物理1-2.ppt

1-3 真空的获得 1-4 真空的测量 为了判断真空系统所达到的真空度，必须对真空容器内的压强进行测量。但在真空技术中遇到的气体压强都很低，要直接测量其压强是极不容易的。 因此，都是利用测定在低气压下与压强有关的某些物理量，经变换后再确定其容器中的压强，从而得到容器中的真空度。 另外，任何具体的物理特性，都是在某一压强范围内的变化比较显著。因此，任何方法都有其一定的测量范围，这个范围就是该真空计的“量程”。同时由仪器测出的真空度与真空室实际的真空度之间可能会由于温度不同而存在误差。 目前，还没有一种真空计能够测量从大气压到 10-10Pa 的整个范围的真空度。真空计按照不同的原理和结构可分成许多类型。表1-5 列出几种常用真空计的主要特性。 薄膜物理与技术 ： 石市委 ： swshi@ahu.edu.cn ： 物理与材料科学学院 安徽大学 教师 邮箱 院系 罗茨真空泵 （次级泵） 工作原理： 在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。 罗茨泵的特点： 次级泵 在较宽的压强范围内有较大的抽速； 起动快，能立即工作； 对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感； 转子不必润滑，泵腔内无油； 振动小，转子动平衡条件较好，没有排气阀； 驱动功率小，机械摩擦损失小； 结构紧凑，占地面积小； 运转维护费用低 压力范围一般为：0.1-1000Pa 其极限真空度可以达到10-2Pa，有的甚至可达10-4Pa 油扩散泵 （次级泵） 工作原理： 在前级真空泵所造成的低真空条件下，加热泵内硅油，使受热沸腾蒸发，生成蒸气，以极高速度通过该泵的各级喷口的缝隙喷出，使容器内部的气体分子扩散到蒸汽中被带到前级真空泵所能作用的位置，由前级真空泵迅速抽出，使系统达到高真空的要求。 油扩散泵 由于泵内油蒸气的回流会直接造成真空系统的油污染，因此在材料表面分析仪器和其他超高真空系统中一般不采用油扩散泵。 其工作压力范围为1-10-6（Pa） 不能直接与大气相连，在使用油扩散泵之前需要采用各种形式的机械泵将系统预抽到1Pa左右。 油扩散泵的特点： 涡轮分子泵 （次级泵） 工作原理： 靠对气体分子施加作用力，并使气体分子向特定的方向运用的原理来工作。 涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状，在它以20000-30000r/min的高速旋转时，叶片将动量传给气体分子。 涡轮分子泵装有很多级叶片，上一级叶片输送过来的气体分子又会受到下一级叶片的作用而被进一步压缩至更下一级。 分子泵输送气体应满足二个必要条件： 1). 涡轮分子泵必须在分子流状态下工作。因为当将一定容积的容器中所含气体的压力降低时，其中气体分子的平均自由程则随之增加。在常压下空气分子的平均自由程只有 0.06 μm ，即平均看一个气体分子只要在空间运动 0.06 μm ，就可能与第二个气体分子相碰。而在 1.3Pa 时，分子间平均自由程可达 4.4mm 。若平均自由程增加到大于容器壁间的距离时，气体分子与器壁的碰撞机会将大于气体分子之间的碰撞机会。在分子流范围内，气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距。当器壁由不动的定子叶片与运动着的转子叶片组成时，气体分子就会较多地射向转子和定子叶片，为形成气体分子的定向运动打下基础。 2). 分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度。具有这样的高速度才能使气体分子与动叶片相碰撞后改变随机散射的特性而作定向运动。 涡轮分子泵的特点： 其对一般气体分子的抽除极为有效。（例如对于氮气，其压缩比（即泵出口的压力与入口的压力之比）可以达到109。但是对于抽取低原子序数气体的能力较差，例如氢气，其压缩比仅为103左右。 工作压力范围宽，在 10-1 ～ 10-8 pa 范围内具有稳定抽速 起动时间短，能抽除各种气体和蒸气 分子泵适用于在要求清洁的高真空和超高真空的仪器及设备上使用。也可用来作为离子泵、升华泵、低温泵等气体捕集超高真空泵的前级预抽真空泵使用，这将获得更低的极限压力或更清洁的无碳氢化合物的真空环境。 低温吸附泵 （次级泵） 工作原理： 依靠气体分子会在低温条件下自发凝结或被其他物质表面吸附的物理现象实现对于气体分子的去除，进而获得高真空的装备。 低温吸附泵的特点： 其极限真空度一般处于10-1-10-8Pa之间 低温吸附泵工作所需要的预真空应达到10-1Pa以下，以减少吸附泵的负荷并在泵体内积聚过厚的气体凝聚产物。 在低温时平衡蒸气压较高的气体不容易用低温吸附泵来去除（例如H2，He和Ne） 除了上述几种气体外，低温吸附泵对各种气