多层介质膜干涉滤光片的镀制.docVIP

多层介质膜滤光片的镀制 【摘要】 本实验通过机械泵和油扩散泵的先后使用，将真空镀膜机抽成真空。再在高真空条件下，采用λ/4极值法控制光学厚度的方法，基底为玻璃、高反射率材料为硫化锌（ZnS)、低反射率材料为冰晶石（Na3AlF6），利用蒸发法镀制膜系为（HL)32H(LH)3的干涉滤光片。最后利用TU-1221双光束紫外和可见光分光光度计绘制T-λ曲线，得到干涉滤光片的波长为648nm，与理论值632.8nm的相对误差为2.4%，半宽高为42nm 【关键字 】 高真空镀膜 干涉滤光片 λ/4极值法 光学薄膜检测 引言 自然界中许多美丽的景物，如蝴蝶翅膀、孔雀羽毛以及肥皂泡沫等，他们的观赏效果都与透明膜层内反射光波的干涉有关。从发现薄膜的干涉色彩现象起，特别是1930年真空蒸发设备出现以后，人们对薄膜科学技术进行了大量研究。 在光学薄膜技术中，多层多周期的光学薄膜最为突出，而窄带干涉滤光片则是这一技术的最主要应用之一。一种典型的干涉滤光片是在玻璃基片上镀制“银-介质-银”三层膜，前后两银膜构成两个相互平行的高反射率板。 若n为间隔层介质折射率，d为该层几何厚度，则间隔层的光学厚度nd决定了滤光透射峰值。银层的反射率的主要作用是决定了法布里-珀罗干涉强的惊喜常数，从而对滤光片的峰值透过率TM和半宽度Δλ产生影响。 因银层具有很强的吸收，用银座反射层的“金属-介质”干涉滤光片的透射率很难高于40%，而用多层透明介质膜构成的高反射膜板代替银层构成的干涉滤光片能弥补这一缺点，可使峰值透过率高达80%以上 原理 1、真空技术 “真空”是指气压低于一个大气压的气体状态。在真空状态下，单位体积中的气体分子数大大减少，分子平均自由程增大，气体分子之间、气体分子与其他粒子之间的相互碰撞也随之减少。这些特点被广泛应用于科学研究和生产的许多领域中，例如：电子器件、大规模集成电路、加速器、表面物理、热核反应、空间环境模拟、真空冶炼和真空包装等。 真空泵是把被抽容器中的气体排放出从而降低容器内气压的机具。根据排气压强，真空泵大致可分为三类。 第一类是往大气中排气的泵，这种泵一般称为粗抽泵或前级泵，它可以从大气压下开始工作，可以单独使用或与其他需要在出口处维持一低气压的泵连用。旋转机泵、活塞式机械泵等都属于这一类。第二类是只向低于大气压的环境中排气的泵。这类泵是在气体相当稀薄时才能开始工作，并气体排除到已被前级泵抽成低真空的地方。这类泵称为高真空泵，如扩散泵、分子泵等。第三类是可束缚住系统中的气体和蒸汽的泵，如吸附泵和低温泵等。 而在本实验中，我们可以通过机械泵和油扩散泵的配合使用达到高真空条件。但扩散泵不能再大气下运行，因此在高真空泵能够工作之前，必须先用机械泵通过低真空阀门分别将钟罩内和扩散泵中的大部分气体抽到大气中。扩散泵需要预热，待真空度合适后，将低真空阀放在抽扩散泵一侧，然后慢慢打开高真空阀门。扩散泵和机械泵的组合可使钟罩内的压强降到大约7×10-3Pa 2、反射膜 光线在单一分界面上的反射光线垂直入射到透明介质界面时，反射系数和反射率分别为 （2-1） （2-2） 其中、分别为两种介质的折射率。知道和便很容易地计算光垂直入射在该界面上时的反射特性。 在一般情况下，光线以一定的角度入射到分界面上，这时，要对两种偏振分别计算反射率和透射率。假设入射光为平面电磁波，并在波前平面内的偏振分量波和与该平面垂直的分量波，反射波和透射波也做同样的分解，用上标、和分别代表入射波、反射波和投射波。于是，波和波的反射率和透射率分别为图2-1 光线在单一界面上的反射 (2-3) 定义介质的光学导纳 (2-4) 其中为与界面垂直方向的单位矢，和分别为磁场强度矢量和电场强度矢量，脚标“”指平行于界面的方向。的大小既与介质的折射率有关，也与入射角和有关，由折射定律和绝缘介质面上电磁场的边值关系 (2-5) 以及的振幅比 (2-6) 可以推出如下关系 (2-7a) (2-7b) 于是可得振幅反射率及能量反射率 ( 2-8) (2-9) （2-8）、（2-9）两式中的无论对于都适用。（2-8）、(2-9）两式的形式与（2-1）、（2-2）两式完全相同，这就是说定义了介质的光学导纳之后，我们就可以用同一形式的公式来处理问题而不必区分垂直还是斜入射。 由于不论对还是，在忽略吸收条件下都