工厂的节能防止全球变暖.PDFVIP

工厂的节能 • 防止全球变暖 ①在全球所有事业场推进“计测”活动 能对策整理、汇总成检查清单，对所有的工厂进行总检查。 商 ※4 采用实施前 (Before) 与实施后 (After) 进行比较的方式，将 CO 减排事例整理 为了稳步推进 CO 减排，使工厂内各设备使用能源 2 2 品 成图表形式的资料。 的 的状况、以及通过采取措施达成的减排效果的 “可视化”， 绿 色 使用能源所导致的 CO 以外的温室气体的减排 是非常重要的。 2 创 意 2008 年度，推进所有的生产型事业场引进计量系统、 本公司排放的温室气体中，除了使用能源导致的 CO2 建立管理体制的同时，根据示范工厂取得的活动成果，编 之外，其他的主要是半导体工厂用于蚀刻、清洁的气体， 制而成《“计测”有效利用指南》。今后，继续利用该机制， 诸如 PFC、SF6 等。半导体工厂为了削减此类气体，实施 使能源的浪费可视化，并将减排活动作为全集团活动予以 了诸多项对策，例如：采取替代的方式以及安装除害装置； 强化。 回收产生的氟气体；引进无害化处理装置等。 世界半导体理事会 (WSC) 会议提出 “2010 年之前， ②通过“节能诊断”、深层挖掘对策 实现相比于 1995 年削减 10% 以上的目标”。而本公司的 为了各事业场能深层挖掘节能对策，正在推进由节能 半导体部门已于 2008 年度，取得相比于 1995 年度削减 生 专家实施的 “节能诊断”活动。在领域公司内，熟知各产品 18% 的业绩。 产 的 生产工序的技术人员与工厂的担当人员共同推进活动，以