第3讲fft法分析静态干涉图.ppt

空间载频法分析静态干涉图 南京理工大学 陈磊 2010年03月 参考文献 [1] Malacara, D. et al. Interferogram analysis for Optical testing. 2nd.Ed.,Marcel Dekker, Inc, New York, 2005 主要内容 1 FFT方法分析干涉图的原理 引言 原理 位相展开 2 讨论 最佳载频的选取 滤波器选取 干涉图的延拓 引言 发展概述 与基于强度条纹分析方法的关系 应用场合 光栅衍射实验 全息图的产生 波前重建 1 FFT方法分析干涉图 其中，fx、fy是干涉条纹在X和Y方向的中心频率，?是干涉图包含的相位信息，a(x,y)是背景光强分布分别，b(x,y)是条纹可见度。 余弦函数的傅里叶变换 变换干涉图光强表达式形式 频域处理 波面计算 波面展开 计算流程 问题的提出 最佳载频的确定 滤波器如何设计、选取 Gibbs效应问题： 由于滤波器截断有效数据，使得恢复出来的数据在边缘处有振铃现象。产生原因：1）光瞳函数，2）滤波器。 载频的选取 频率与位相的关系 载频的选取范围 采样密度 载频的选取要求 条纹不能封闭 任何平行于x轴的扫描线不能与条纹相交两次 采样频率变化的影响 算法的适用范围 最佳载频的确定 滤波器的设计与选取 滤波窗口宽度的限制 滤波器的设计 关键数字信号处理原理 干涉图的延拓-抑制吉布斯效应 干涉图的延拓 延拓的意义 Gerchberg迭代法 边界对称反转外延 基于样本块的重建方法 2-DFFT变换的迭代延拓原理 2-DFFT变换的迭代延拓原理 在除去连续分布后，减去干涉图内背景分布: 迭代延拓流程 Gerchberg的2-DFFT迭代延拓流程图 干涉条纹延拓的结果 迭代延拓图例 Gerchberg的2-DFFT迭代延拓参考图例 Gerchberg的2-DFFT迭代延拓实际图例 边界对称反转外延 以圆瞳域的中心为半径方向的边界对称反转外延示意图 以水平或垂直方向为半径的边界对称反转外延示意图 边界周期延拓算法步骤及计算过程图例 算法步骤: (1)求原始干涉图fx、fy 1) 取原始干涉图的中有效数据点最多的一列,例如圆瞳有效区域通过中心的一列进行1D-FFT; 2) 取出左旁瓣,进行一维逆傅里叶变换,求反正切相位值; 3) 找出相位跃变点,调整至连续相位变化; 4) 将连续相位变化拟合为直线y=k*x+b，求斜率k，则fx?k；同理得 fy ; (2)求得干涉条纹空域周期间隔 、 ; (3)据干涉条纹空域周期间隔Tx 、Ty 进行边界周期延拓; 边界周期延拓算法步骤 计算过程图例 边界周期延拓图例 线性条纹度较好的干涉图 带离焦的干涉图 基于样本块的重建方法 小结 优点 单幅图处理，实现动态对象测量 可实现自动处理 数据量大，可计算均匀网格点上的所有数据 抑制噪声 硬件简单 缺点 计算量大（两次FFT，频域滤波、延拓） 测量动态范围受限制，不能处理封闭条纹 FFT要求数据点数应为2n，否则需延拓 高频抑制，某些特殊样品的测量受限制，如：台阶面 原干涉图 延拓后的干涉图 参见，李建欣博士论文，南京理工大学，2006 * * a+b s P P1 透射光栅的实验装置 Figure 8.3 Recording of a hologram. 参[1]，p.404 Figure 8.4 Reconstruction of a wavefront with a hologram. 参[1]，p.405 傅里叶变换对 -f f 0 其中 背景 正一级旁瓣 负一级旁瓣 取出一个一级旁瓣，并将其平移到坐标原点，即频谱面的零频位置，对应的物理过程是：滤波，消倾斜。 为了去除干涉条纹对边缘检测的影响，我们取合适的滤波器，取出干涉分布的正一级谱（或负正一级谱），即 作逆FFT变换，得到 有 由反正切计算得到的波面只是主值波面，其范围局限在（-?，?）区间内。 atan与atan2 atan: (-?/2，?/2) atan2: (-?，?) 参【1】p.398 ?为参考面法线与光轴（z轴）的夹角，sin?为方向余弦 干涉图应满足如下条件： 1、干涉图中单位长度上的最大条纹数应小于N/3 2、干涉图对应波面的相位变率应满足 3、相应的被测波面高度分布的变化率应满足： 参考：李顺光硕士论文，南京理工大学，2000.03 N为采样点数 每条纹4个采样点 采样应注意的问题：采样定理，奈奎斯特Nyquist频率，欠采样与过采样。 参考文献：Macy. Appl. Opt. 1983 根据数学方法的找极大值点，可以确定零级(u0 ,v0)以及正负一级