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NT9100干涉显微镜的应用研究 摘要表面的三维测量和评定是影响表面加工生产的重要因素，本课题就是在此背景下开展工作，旨在解决光伏电池多晶硅表面微观轮廓参数、手机背光板V-CUT器件微棱角参数测试等的技术难点。我们采用白光干涉原理，基于Veeco NT9100白光干涉显微镜作为硬件平台进行测量与分析，研究三维表面的评定方法。本文重点介绍了NT9100白光干涉显微镜的测量原理，并结合图像处理与数据分析，讨论了一种测量大斜率V-CUT加工面的检测方法，最终完成手机背光板V-CUT器件各项参数的测量。11520 关键词白光干涉显微镜V-CUT检测微观轮廓 毕业设计说明书（论文）外文摘要 TitleThe application of NT9100 interference microscope Abstract The surface 3d measurement and evaluation is the important factor of surface processing production ,and the topic is in this background to do the work, aiming to solve the technical difficulties of the micro surface profile parameters of Polycrystalline silicon and the micro angular parameters of the V-CUT of mobile phone back panels . We adopt the white light interference principle and use NT9100 white light interference microscope as hardware platform for measurement and analysis . Combined with the image processing and data analysis, this paper introduces the NT9100 white light interference microscope measuring principle and discussed a method of measuring large slope V-CUT device . Finally get the parameters of the V-CUT device of phone back panels. KeywordsWhite light interference microscope, V-CUT detection, Micro profile 目次 1 引言1 1. 1 概述1 1. 2 表面微观形貌的测量方法1 1. 2. 1 接触式测量法2 1. 2. 2 非接触式测量法3 1.2表面微观形貌的测量方法 表面三维形貌的测量方案可分为两种：接触式测量法和非接触式测量法。如下图所示，对各种测量方法简单总汇[1-2]： 图1.1 表面微观轮廓检测方法汇总 1.2.1接触式测量法 接触式测量方法一般为触针式测量法，基于杠杆原理，按传感系统的不同分为电感式、电容式、压电式、干涉式和光栅式等，其中以电感式最为普遍[3]。 图1.2 接触式表面形貌测量仪器原理图 图1.3 激光干涉式位移传感器 激光干涉式位移传感器基于迈克尔逊干涉测长原理，激光经分光镜分为两路，参考光束b与测量光束a原路反射，在分光点产生干涉，其条纹经放大镜放大后被光电阵列接收。触针移动引起光程差改变，通过光电阵列求出光程差改变量，从而获得垂直位移数据[4]。 图1.4 柱面光栅衍射干涉式传感器 在柱面光栅衍射干涉式传感器中，激光垂直入射在全息衍射光栅上，衍射后的两束光分别经反射镜反射在分光镜交汇并发生干涉。触针随被测表面的轮廓上下运动，从而带动圆心在转动支点的柱面全息衍射光栅转动，引起干涉条纹的移动，通过计数转换得到触针的垂直位移。 触针式粗糙度测量仪的最高垂直分辨率可达亚纳米级，量程大，精度较高，通过更换不同测头和杠杆比的测杆，可分别实现表面粗糙度和表面轮廓的测量。但由于探针绕支点旋转轨迹为圆弧，不可避免会产生误差，同时触针易划伤被测件表面，无法用于高质量和软质表面的测量。 1.2.2非接触式测量法 非接触式测量法可分为两大类：非光学式扫描显微镜测量法和光学测量法。 非光学式扫描显微镜主要有两种类型：一种是扫描电子显微镜，另一种是扫描探针显微镜。 图1.5 临界角法测量表面微观轮廓原理图 临界角法测量系统中，不同离焦情况导致光束通