mems硅梁谐振式传感器的研究 research of mems silicon cantilever resonant sensor.pdfVIP

MEMS器件与技术 MEMS Device＆Technology MEMS硅梁谐振式传感器的研究 丹，邱成军 (黑龙江大学集成电路重点实验室，哈尔滨 150080) 摘要：通过对硅梁谐振式传感器工作原理的研究，结合Intellisuite软件对硅微悬臂粱谐振器的 振动特性进行了分析，设计了具有悬臂梁结构的电热激励／压阻拾振的谐振式传感器，这种传感 器具有体积小、功耗低、灵敏度高、准数字信号输出、成本低、与集成电路工艺兼容等优点。对 研究制作过程中的关键工艺——各向异性腐蚀技术，尤其是对低温下的腐蚀工艺进行了实验研 究，采用高低温相结合的湿法腐蚀工艺制作了微悬臂梁结构，通过实验分析了利用新型有机薄膜 对各向异性腐蚀过程中的MEMS器件金属电极的保护效果，为实际生产和设计提供了参考依据。 关键词：传感器；微电子机