mems微型气相色谱分离柱结构的研究进展 research progress of structures for mems gas chromatography columns.pdfVIP

MEMS微型气相色谱分离柱结构的研究进展 王 力 杜晓松 胡 佳 蒋亚东 电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都 610054 摘要:气相色谱分离柱是色谱系统的重要组件之一,采用MEMS技术制作的微型气相色谱分离 柱与传统分离柱相比,因其具有较小的平面二维结构和快速分离混合物的能力而备受青睐。对 MEMS微型气相色谱分离柱结构的研究进展进行了综述,将硅基底材料制作的分离柱结构分为 螺旋型、直线型、蛇型和阵列型,重点从组分分离时间、分辨率和理论热塔板数等方面对微型色 谱分离柱的各种结构进行了综合分析和比较,并介绍了新兴工艺制作的镍基底、聚合物基底和 PECVD薄膜基底的微型气相色谱分离柱。 气相色谱;分离柱;微电子机械系统(MEMS);气体传感器;保留时间 TN703 A 1671-4776(2011)10-0639-09 ResearchProgressofStructuresforMEMSGasChromatographyColumns WangLiDuXiaosongHuJiaJiangYadong 1