ndyag激光器光栅式扫描预处理的计算模拟与优化分析 computer simulation and optimization of raster scanning ndyag laser conditioning.pdfVIP

第20卷第8期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．20，No．8 2008年8月 HIGHPOWERLASERANDPARTICLEBEAMS Aug．，2008 文章编号： 1001-4322(2008)08·1238-05 Nd：YAG激光器光栅式扫描预处理的 计算模拟与优化分析。 李大伟1’2， 陶春先1’2， 赵元安1， 邵建达1， 范正修t (1．中国科学院上海光学精密机械研究所光学薄膜技术研究与发展中心，上海201800；2．中国科学院研究生院．北京100039) 摘要：采用计算模拟的方法．研究了光栅式扫描预处理的扫描方式以及脉冲能量波动、定位误差对预 处理效率的影响。研究发现，脉冲能量波动及其定位误差使预处理效率降低．同时其影响与扫描方式之间存在 相互调制作用。因此可以通过选择合适的扫描方式以及扫描间隔来优化预处理流程，提高预处理效率．此外发 现，光斑呈等边三角形排列时的预处理效率优于正方形。 关键词：光学薄膜； 激光预处理， 光栅式扫描I 预处理效率 中图