温梯法生长CaF_2晶体中包裹物的研究.docx

2004年2月JOURNALOFSYNTHETICCRYSTALSFebruary,2004温梯法生长CaF2晶体中包裹物的研究董永军,周国清,苏良碧,杨卫桥,徐(中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800)军摘要:本文对温度梯度法生长的氟化钙(CaF2)晶体中的包裹物进行了研究,用光学显微镜和SEM观察了包裹物的形貌,对晶体中的包裹物和透明部分作了微区EDX成分分析,对包裹物所含的杂质进行了解释,提出了减小或消除包裹物的措施。分析结果表明:包裹物的主要成分是碳和氧,碳来源于石墨坩埚和石墨发热体,而杂质氧则来源于原料中的含氧化合物和生长过程气氛中氧的进入。关键词:氟化钙晶体;温度梯度法;包裹物中图分类号:O782;077文献标识码:A文章编号(2004)0120031204StudyoftheInclusionofCalciumFluorideCrystalsGrownbyTGTDONGYong2jun,ZHOUGuo2qing,SULiang2bi,YANGWei2qiao,XUJun(ShanghaiInstituteofOpticsandFineMechanics,ChineseAcademyofSciences,Shanghai201800,China)(Received8September2003)Abstract:Thispaperstudiedtheinclusioninthecalciumfluoridecrystalsgrownbytemperaturegradienttechnique(TGT).TheinclusionwasobservedbymeansofopticalmicroscopeandSEM.ThecomponentsoftheinclusionandthetransparentcrystalswereanalyzedbyEDX.Thereasonwhytheimpuritiesexistinthecrystalwasgiven.Theresultsshowthatthemaincomponentsofinclusionarecarbonandoxygen.Carbonimpuritycomesfromgraphitecrucibleandheater,whileoxygenimpurityfromtheoxidesintherawmaterialandtheoxygeninthegrowthatmosphere.Atlast,thepaperputforwardthemeasurestoresolvethisproblem.Keywords:calciumfluoridecrystals;temperaturegradienttechnique(TGT);inclusion1引言氟化钙(CaF2)是多年来理论和实验研究课题的一种代表性氟化物,它一直是应用于光学元件和系统设计的一种重要材料1,氟化钙具有宽的透光范围(从远紫外到中红外)、高的透过率、低的折射率、高的抗化学侵蚀性和高的激光损伤阈值等优异性能。近年来,氟化钙由于能在低于130nm紫外光谱范围提供高的透过率而成为获得极大关注的光学材料2。它是为数不多的适合在深紫外光谱范围进行光学操作的材料,特别是由于CaF2在ArF或F2激态激光的发射波段具有优异的透过率325,使得它在193nm和157nm波长半导体工业中下一代ArF或F2激态激光光刻机械中有极大应用前景628。目前CaF2已经成为光学领域中最重要的商业化材料,激态激光和光学光刻生产商正发展应用CaF2元件的193nm和157nm光刻系统来补充或代替以熔融石英为元件的光刻系统。实验中我们首次用导向温度梯度法(temperaturegradienttechnique)生长了氟化钙晶体,晶体直径为75mm,收稿日期:2003209208基金项目:上海市科技发展基金项目(No.022261053)作者简介:董永军(19782),男,内蒙古人,硕士。E2mail:dongyj@。32人工晶体学报第33卷重量500g,晶体完整、内部透明。包裹物是影响晶体质量的一个很重要的因素,包裹物可以引起散射效应导致透过率下降,同时使晶格周期性结构发生畸变,降低晶体损伤阈值。本文研究了氟化钙晶体中包裹物的形貌和成分,分析了包裹物的产生原因,提出了减少或消除包裹物的办法。2实验晶体在温度梯度炉中生长,实验中我们采用石墨坩埚,以(111)方向生长氟化钙晶体。首先将定好向的籽晶放入籽晶槽中,加入原料纯度≥99.99%的氟化钙原料,在晶体生长过程中为了消除晶体由于水解和氧化作用而生成的氧化物(氢氧化物、氟氧化物),在原料中均匀混入质量百分比为122%的PbF2。整个系统封闭后抽真空到至