发展容易集成加工的高功能有机薄膜晶体管 optimization of otft structures towards easy integration.pdfVIP

朱峰，闰东航：发展容易集成加工的高功能有机薄膜晶体管 文章编号：1006—6268(2007)08-0018—05 发展容易集成加工的高功能 有机薄膜晶体管 朱峰。闰东航 (中国科学院长春应用化学研究所高分子物理与化学国家重点实验室，长春130022) 摘 要：描述了近10年来开发容易集成加工的高功能有机薄膜晶体管方面所取得的成就。针 对有机薄膜晶体管存在金属、氧化物和有机物三相交fE点这个明显的结构缺陷，以克服高介电 绝缘栅漏电问题为基础。综合考虑器件加工的方便性与一致性、界面态和空间电场分布等因 素．设计并优化出双绝缘栅和夹心型器件结构。通过引入缓冲层有效地降低了电极与半导体之 间的接触电阻。使器件的性能能够满足有源矩阵显示的需要。 关键词：有机薄膜晶体管；漏电；接触电阻 中图分类号：TN321+．5文献标识码：A ofOTFTStructurestowardsI Optimization Easyntegration ZU FIe晦YANDong-hang State of and Instituteof (The KeyLaboratoryPolymerPhysicsChemistryChangchun 130022，China) AppliedChemistry，Changchun of ofOTFTstructuresforeaseof Abstract：Wereviewtheoutcome optimization and the ten obtainedinourresearch integrationhighperformanceduringpast years group． Wefocusedonournewdevice tosolvetheweek ofOTFTstructurewitha design point of and substance．Wenew meetingpointmetal，oxidizeorganic developed three—phase devicestructureswith insulatorandsandwichstructuretoovercomethe double—layer of dielectricinsulator．Easein main of current fabrication， largeleakage high problem in stateanddistributionofelectricfiledwereconsidered un．fOrmitVdevice，interface the was toreducecontactresistance ca