飞秒激光加工光波导的工艺与传输特性研究 research on process parameters and transmission properties of optical waveguide fabricated by femtosecond laser.pdfVIP

第４４卷　 第１１ 期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ４４，Ｎｏ１１ 　 ２０１４年１１ 月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｎｏｖｅｍｂｅｒ，２０１４ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１４）１１１２０７０６ ·激光应用技术 · 飞秒激光加工光波导的工艺与传输特性研究 １，２ １，２ １，２ １，２ 王少清 ，孙小燕 ，夏国才 ，罗　志 （１中南大学机电工程学院，湖南 长沙４１００８３； ２中南大学高性能复杂制造国家重点实验室，湖南 长沙４１００８３） 摘　要：利用飞秒激光横向直写方式加工光波导，采用散射光测量法分析了光波导的传输 损耗。为了提高光波导的传输性能，分析了不同数值孔径的聚焦物镜、加工速度和加工能 量对光波导传输损耗的影响。实验结果表明，聚焦物镜数值孔径为０２５，激光功率为 ６ ｍＷ，加工速度在４５ ～６０ ｍ／ｓ 时，飞秒激光加工的光波导具有较好的传输性能，其传输 μ 损耗低于－０２ ｄＢ／ｃｍ。 关键词：飞秒激光；光波导；传输损耗；数值孔径 中图分类号：ＴＮ２５５　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０３９６９／ｊｉｓｓｎ１００１５０７８．２０１４．１１．００６ Ｒｅｓｅａｒｃｈ ｏｎ ｐｒｏｃｅｓｓ ｐａｒａｍｅｔｅｒｓ ａｎｄ ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆｏｐｔｉｃａｌ ｗａｖｅｇｕｉｄｅ ｆａｂｒｉｃａｔｅｄ ｂｙ ｆｅｍｔｏｓｅｃｏｎｄ ｌａｓｅｒ １，２ １，２ １，２ １，２ ＷＡＮＧＳｈａｏｑｉｎｇ ，ＳＵＮ Ｘｉａｏｙａｎ ，ＸＩＡ Ｇｕｏｃａｉ ，ＬＵＯ Ｚｈｉ （１Ｃｏｌｌｅｇｅ ｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌ ａｎｄ Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｃｅｎｔｒａｌ Ｓｏｕｔｈ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｃｈａｎｇｓｈａ４１００８３，Ｃｈｉｎａ； ２Ｓｔａｔｅ Ｋｅｙ Ｌａｂｏｒａｔｏｒｙ ｏｆＨｉｇｈ Ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ Ｃｏｍｐｌｅｘ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ，Ｃｈａｎｇｓｈａ４１００８３，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎ ｔｈｉｓ ｐａｐｅｒ，ｏｐｔｉｃａｌｗａｖｅｇｕｉｄｅｓｗｅｒｅｗｒｉｔｔｅｎｂｙｔｒａｎｓｖｅｒｓｅ ｓｃａｎ ｏｆｆｅｍｔｏｓｅｃｏｎｄｌａｓｅｒＳｃａｔｔｅｒｅｄｌｉｇｈｔｍｅａｓ ｕｒｅｍｅｎｔ ｍｅｔｈｏｄ ｗａｓ ｕｓｅｄｔｏｍｅａｓｕｒｅｗａｖｅｇｕｉｄｅｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎｌｏｓｓＩｎｏｒｄｅｒｔｏ ｉｍｐｒｏｖｅｔｈｅｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ ｏｆ ｏｐｔｉｃａｌ ｗａｖｅｇｕｉｄｅ，ｔｈｅ ｉｎｆｌｕｅｎｃｅ ｏｆｆｏｃｕｓｉｎｇ ｌｅｎｓ，ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ ｓｐｅｅｄ ａｎｄ ｅｎｅｒｇｙ ｏｆｔｈｅ ｄｉｆｆｅｒｅｎｔ ｎｕｍｅｒｉｃａｌ ａｐｅｒｔｕｒｅ ｏｎ ｔｈｅ ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ ｌｏｓｓ ｏｆｏｐｔｉｃａｌ ｗａｖｅｇｕｉｄｅｓｗａｓ ａｎａｌｙｚｅｄＥｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌ ｒｅｓｕｌｔｓ ｓｈｏｗ ｔｈａｔ，ｗｈｅｎ ｔｈｅ ｎｕｍｅｒｉｃａｌ ａｐｅｒｔｕｒｅ ｏｆｔｈｅ ｆｏｃｕｓｉｎｇｌｅｎｓｉｓ０２５，ｔｈｅｌａｓｅｒｐｏｗｅｒｉｓ６ ｍＷ，ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇｓｐｅｅｄｉｓａｂｏｕｔ４５ ～６０ ｍ／ｓ，ｔｈｅｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎｌｏｓｓｏｆ