飞秒激光微加工的研究进展 research progress of micro-nanofabrication by femtosecond laser.pdfVIP

下载本文档

14
0
约1.63万字
约 5页
2017-08-31 发布于上海
举报
版权申诉

飞秒激光微加工的研究进展 research progress of micro-nanofabrication by femtosecond laser.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

飞秒激光微加工的研究进展 research progress of micro-nanofabrication by femtosecond laser

第43卷第1期激光与红外 V01．43．No．1 2013年1月 LASER＆ INFRARED Jalluary，2013 文章编号：1001-5078(2013)01枷14m5 ·综述与评论· 飞秒激光微加工的研究进展顾理1’。，孙会来1”，于楷3，赵方方k2 (1．天津市现代机电装备重点实验室天津工业大学机械工程学院，天津300387；2．四川省制造与自动化重点实验室西华大学，四川成都610039；3．辽宁省铁岭港华燃气有限公司技术设备部，辽宁铁岭112000) 摘要：综述了近年来国内外利用飞秒激光微加工的研究进展。飞秒激光脉冲作为材料微纳加工的一项工具，已经从实验室进入到工业化阶段。介绍了飞秒激光在微纳加工领域的一些研究情况，分别就飞秒激光烧蚀微加工以及双光子聚合加工进行了阐述。最后分析了飞秒激光微加工目前存在的问题及未来发展的主要方向。关键词：飞秒激光；微加工；烧蚀；双光子聚合中图分类号：TN249文献标识码：A Research ofmicr0-nanof．abrication progress femtosecondlaser by GU Lil’-，SUN Hui—lail”，YUKai3，ZHA0Fang—fan91，2 ofMechanical (1．Sch001 Engineering，TianjinPolytechnicUniversity，Tianjin300387，China； of andits 2．KeyLaboratory Automation，Xihua Manufacturing UniVersity，Chengdu610039，China； 3．Technical andChinaGas EquipmentDepartmentHongKong Co．，Ltd．(Towngas)，Tieling112000，China) articlereviewsthe ofmicro．fabricationfemtosecondat Abstract：The progress by laserhomeandabroadinrecent laser have tobecomeausefultoolformaterialmi- years．Femtosecondpulsesundergonethmu曲the1aboratorypmcess inindustrial6eld．In cm—nano—proce8sing this introducethe offemto·secondlaser micro— paper，we process precise nanofabrication．Twodifkrentfabricationmechanismsaredescribedwhicharelaserablationandtwo