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高密度封装ic的高加速应力试验研究 highly accelerated stress test of high density packaging ics

徽电子器件与技术 ● Microelectronic Device&Technology 高密度封装IC的高加速应力试验研究 张善伦1’2,来 萍2,尧 彬2,刘 建2,李 斌1 (1.华南理工大学电子与信息学院, 广州 510640; 2.电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重占、实验室,广州 510610) 摘要:采用在线监测技术对高密度封装IC样品进行温度步进试验、温度循环试验和振动步进试 验等高加速应力试验,确定了产品的耐受应力极限,验证了本试验方案和试验监测技术的有效性 和可行性。通过失效分析,确定了高加速应力下电路的失效模式和失效机理。结果表明:高密度 塑封IC元件在高加速温循应力下比在随机振动应力下失效更为集中,温循试验在一65~165℃ 温度范围内,失效显著且集中在3个循环以内,主要包括塑封料和引线框架、基板的分层以及内 键合点脱离 样品耐受随机振动量级超过50g。。研究结果可为器件级高加速应力试验研究提 供参考。 关键词:高 速应力试验;在线监控;温度循环;振动步进;失效模式 中图分类号 TN306文献标识码:A文章编号:1671—4776(2010)08—0507—06 AcceleratedStressTestof ICs Highly HighDensityPackaging Shanlunl’‘,Lai Bin2,Liu Bin’ Zhang Pin92,Yao Jian2,Li (1.SchoolElectronicand China Engineering,SouthUniversityof of Information Technology, 51 and 0640;2.NationalLaboratoryforReliabilityPhysicsApplicationTechnology Guangzhou Key Electronic of Products,Guangzhou510610,China) acceleratedstress the Abstract:The step highly test,includingtemperaturetest,temperature ICs testandvibration carriedoutfor withtheonline cycle steptest,were high—densitypackaging limitsthe were stresstoleranceof determined.Theeffec— monitoring products technology.The and ofthe

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