氮化硅薄膜的结构和光学特性-无机材料学报.PDF

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 文章编号 一 一 不 一 氮化硅 薄膜 的结构和光学特性 于 威 , 侯 海虹 , 何 杰 , 王 华英 , 傅广 生 郸 河 北 大 学物 理 科 学与技 术 学院 , 保 定 河 北 建筑 科 技 学院数 理 部 , 邓 摘 要 采用傅立 叶红外 吸收谱和 紫外 一 可 见透射谱研 究 了螺旋波等离子体增强化 学气相 沉 、 积法制备 的氢化 非 晶氮化硅薄膜 的原子 间键合结构和光学特性 结果表 明, 在不 同硅 氮活性 气体配 比 下, 薄膜表现 出不 同的 比和 原子键合方式 , 富氮样 品 中 原子主要和 · , , 原子结合 而 富硅 样 品中主要和 原子 结合 随着 的增加 薄膜 的光 学带 隙 凡 和 ‘ 逐 渐减小 , 此 结果关联于薄膜结构无序性程度 的增 加 , 而薄膜 的