KDY1A便携式电阻率方阻测试仪及机理探究.docVIP

KDY1A便携式电阻率/方阻测试仪 使 用 说 明 书 北京绿野创能机电设备有限公司 概述 KDY1A便携式电阻率测试仪是用来测量硅晶块、晶片的电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻的小型仪器。 本仪器按照半导体材料电阻率的国际及国家标准测试方法有关规定设计。 它主要由电器测量部份（主机）及四探针头组成，需要时可加配测试架。 为减小体积，本仪器用同一块数字表测量电流及电阻率。样品测试电流由高精度的恒流源提供，随时可进行校准，以确保电阻率测量的准确度。因此本仪器不仅可以用来分选材料也可以用来作产品检测。对1～100Ω·cm标准样片的测量误差不超过±3%，在此范围内达到国家标准一级机的水平。 2、测试仪结构及原理 测试仪主机由主机板、前面板、后背板及机箱组成，数字表、测试电流换档开关、电阻率/方阻转换开关、校准/测量变换开关以及电流调节电位器均装在前面板上。后背板上只装有电源插座、电源开关、保险管及四探针连接插座。机箱底板上只装了主机板。前后面板与主机板之间的联接均采用接插件，便于拆卸维修。 KDY1A型电阻率测试仪的基本原理是恒流源给探头1.4探针提供稳定的测量电流I，由2、3探针测取被测样品上的电位差V， 当样块厚度大于4倍探针间距，即可由下式计算出材料的电阻率； ρ＝2πS×V/I×FSP （1） 这是大家熟悉的样品厚度和任一探针离样品边界的距离均大于4倍探针间距（近似半无穷大的边界条件），无需进行厚度、直径修正的经典公式。此时如用间距S=1mm的探头，电流I选择0.628；用S=1.59mm的探头，电流I选择0.999，即可从本仪器的电压表（DVM2）上直接读出电阻率。 如选择测量电流 只要处理好小数点 的位置，数字电压表上显示的V值即等于ρ。当探针间距修正系数FSP=1.00时 如： 探针间距(S)=1mm 可选I=62.8mA或6.28mA 探针间距(S)=1.59mm 可选I=100.0mA或10.00mA 当样块厚度小于4倍探针间距的样片均可按下式计算 ρ=V/I×W×F（W/S）×F（S/D）×FSP ×Ft （2） 式中：V——电压的读数，mV。 I——电流的读数，mA。 W——被测样片的厚度值以cm为单位。 F（W/S）——厚度修正系数，数值可查附录二。 F（S/D）——直径修正系数，数值可查附录三。 Fsp——探针间距修正系数。 Ft——温度修正系数，数值可查附录一。 为方便用户直接从数字表上读出硅片电阻率，可设定I= W×F（W/S）×F（S/D）, ρ=V×FSP ×Ft ，这样就无需按上式做繁琐的计算，预先计算出来不同厚度的电流值I，本仪器说明书附有硅片厚度直读电流选择表，只要按照样品厚度选择电流，即可从数字表上直接读出硅片电阻率。 方块电阻的测量: 用KDY-1A测量方块电阻时，计算公式为： R = V/I× F(S/D) × F(W/S) ×FSP 由于扩散层、导电薄膜很薄 F(W/S)=1，所以只要选取电流 I=F(S/D) FSP. 电压表本身已经做了小数点移位，在1mA档时,电流可选45.3 , 在10mA档时, 电流可选4.53，ρ/R选择在R位置，从KDY-1A电压表上即可直接读出方块电阻R 。 3、使用方法： 在背板上电源插座插好电源线、四探针头连接线，检查保险丝管有无松动。 打开背板上的电源开关（将I按下）此时面板上的数字表及各控制开关上均有指示灯点亮。 （3）从左向右，察看控制开关，先将电流换档开关置于“1mA”, 在测硅片、硅块时ρ/R置于“ρ”， 在测方块电阻时ρ/R置于“R”，校准/测量档选在“校准”。 （4）将四探针头压在样品上，此时数字表上显示的是测量电流; 如选用间距为1.00mm的四探针头， 在10 mA档时,调节粗调、细调旋钮，使数字表显示6.28，即I=6.28mA。 在1 mA档时,调节粗调、细调旋钮，使数字表显示62.8，即I=0.628mA。 如选用间距为1.59mm的四探针头， 在10 mA档时,调节粗调、细调旋钮，使数字表显示10.0，即I=10mA。 在1 mA档时,调节粗调、细调旋钮，使数字表显示100.0，即I=1mA。 （5）将最右边的按钮按下，测量灯亮。此时数字表上显示的是欲测样品电阻率，样品电阻率在1.0Ω·cm至199.9Ω·cm之间均可用此档（1m