大功率半导体激光器及其应用幻灯片.ppt

大功率半导体激光器及应用 长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室 马晓辉 概 述 一、激光 二、半导体激光器 三、大功率半导体激光器研究进展 四、半导体激光器的典型应用 五、半导体激光器市场及发展前景 一、激 光 激光技术、计算机技术、原子能技术、生物技术，并列为二十世纪最重要的四大发现。是人类探索自然和改造自然的强有力工具。 与电子电力技术、自动化测控技术的完美结合，使激光技术能够更好的为人类创造美好生活。 1、激光的概念 激光（Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation ，LASER）一词是受激辐射光放大。 1960年，美国物理学家梅曼（Maiman）在实验室中做成了第一台红宝石(Al2O3:Cr)激光器。 我国于1961年研制出第一台激光器（长春光机所，长春光机学院） 从此以后，激光技术得到了迅速发展，引起了科学技术领域的巨大变化。 原子和能级 按量子力学理论，原子具有的能量是随原子种类不同而不等的离散性数值，可以用电子的动能和势能之和表达。 原子能量的任何变化（吸收或辐射）都只能在某两个定态之间进行。原子的这种能量的变化过程称之为跃迁。 三种类型的跃迁：吸收、自发辐射和受激辐射。 光子的吸收 一个原子开始时处于基态E1，若不存在任何外来影响，它将保持状态不变。如果有一个外来光子，能量为hv，与该原子发生相互作用。且hv=E2-E1，其中：E2为原子的某一较高的能量状态-激发态。则原子就有可能吸收这一光子，而被激发到高能态去。这一过程被称之为吸收。 只有外来光子的能量hv恰好等于原子的某两能级之差时，光子才能被吸收。 自发辐射 处于高能态的原子是不稳定的。它们在激发态停留的时间非常短（数量级约为10-8s），会自发地返回基态去，同时放出一个光子。 这种自发地从激发态跃迁至较低的能态而放出光子的过程，叫做自发辐射。 自发辐射的特点 这种过程与外界作用无关。各原子的辐射都是独立地进行。因而所发光子的频率、初相、偏振态、传播方向等都不同。不同光波列是不相干的。 例如霓虹灯管内充有低压惰性气体，在管两端加上高电压来激发气体原子，当它们从激发态跃迁返回基态时，便放出五颜六色的光彩。 受激辐射 激发态的原子，受到某一外来光子的作用，而且外来光子的能量恰好满足hv=E2-E1，原子就有可能从激发态E2跃迁至低能态E1，同时放出一个与外来光子具有完全相同状态的光子。这一过程被称为受激辐射 2、产生激光的必要条件 粒子数反转：选择具有适当能级结构的工作物质，在工作物质中能形成粒子数反转，为受激辐射的发生创造条件； 光学谐振腔：选择一个适当结构的光学谐振腔。对所产生受激辐射光束的方向、频率等加以选择，从而产生单向性、单色性、强度等极高的激光束； 一定的阈值条件：外部的工作环境必须满足一定的阈值条件，以促成激光的产生。 3、激光的特点 方向性好：激光是沿一条直线传播，能量集中在其传播方向上。其发散角很小，一般为10-5～10-8球面度。 单色性强：从普通光源（如钠灯、汞灯、氪灯等）得到的单色光的谱线宽度约为10-2纳米，而氦氖激光器发射的632.8纳米激光的谱线宽度只有10-9纳米。 亮度高：一台普通的激光器的输出亮度，比太阳表面的亮度大10亿倍。 相干性好：普通光源（如钠灯、汞灯等）其相干长度只有几个厘米，而激光的相干长度则可以达到几十公里，比普通光源大几个数量级。 4、激光器的种类 按工作物质的性质分类 气体激光器：氦一氖气体激光器，方向性好，单色性好，输出功率和波长能控制得很稳定。 固体激光器：典型代表有Nd3+:YAG，能量大、峰值功率高、结构紧凑、牢固耐用等优点。 半导体激光器：以半导体为工作物质，常用材料有GaAs、InP等。具有小型、高效率、结构简单等优点 液体激光器：有机化合物液体（染料）和无机化合物液体激光器，波长可调谐且调谐范围宽广、可产生极短的超短脉冲、可获得窄的谱线宽度。 按工作方式区分 连续型 脉冲型 5、其它激光器 光纤激光器 化学激光器 气动激光器 色心激光器 自由电子激光器 单原子激光器 X射线激光器 二、半导体激光器 1962年，美国，同质结GaAs半导体激光器，液氮温度下脉冲工作。 1967年，液相外延的方法制成单异质结激光器，实现了在室温下脉冲工作。 1970年，美国的贝尔实验室制成了双异质结半导体激光器,实现了室温连续工作。 70年代以后。量子阱技术、MBE、MOCVD新型外延技术---量子阱激光器（阈值电流密度低、电光转换效率高、输出功率大）。应变量子阱，生长非晶格匹配的外延材料，拓宽了激光器波长范围。 1965年 中国 北中科院北京半导体所。 激光二极管 1、半导体激光器的特性 转换效率高：70%。 体积小：1mm3