全息散斑干涉计量.docVIP

第11章 全息散斑干涉计量 光信息处理技术的另一个重要应用是全息散斑干涉计量。众所周知，光的干涉是精密计量的一个重要方法。用于计量的传统的光的干涉是在两束相对平滑的波阵面之间发生的，该方法直到二十世纪五十年代还不能用于散射表面的测量。这是因为在散射光场之间或散射光场与平滑的波阵面进行干涉时干涉条纹的分布过于复杂密集，且散射光场与散射表面之间的关系难于定量计算。六十年代初激光的产生促进了全息术的发展，由于全息术具有三维记忆功能，它可以将存在于不同时间域和空间域中的随机光场波阵面引入同一时间域和空间域中，为仅用于检测光学平滑表面的光干涉技术扩展到光学粗糙表面的检测提供了可能。从1965年的最早报道[11-1~11-3]之后，围绕不同的应用对象提出了许多方法[11-4]。对测量结果的分析也由对拍摄的全息干涉图做手工分析，发展成计算机条纹自动判读[11-5]。同时激光散斑测量自1968年关于散斑照相方法[11-6]发表以来，发展出各种不同的散斑测量方法[11-7]，且与全息干涉测量方法结合产生了可以测量三维变形的全息--散斑干涉法[11-8]。最初建立在光程差分析基础上的全息干涉条纹形成的理论也被能够更精确反映粗糙表面散射光干涉现象的统计光学理论所取代[11-9,11-10]。本章将从这一理论入手，研究全息散斑干涉计量技术。 11.1光学粗糙表面散射光场的统计特性 全息散斑干涉过程中信息的载体是作为电磁波的光，测量的对象是光学粗糙表面及其有关物理量，如面型、应变、流场等。信息加载的方式很简单，激光照射到粗糙表面上，由该表面散射的光波场就成为携带了信息的载体。研究全息散斑干涉首先要建立光学粗糙表面散射的模型。光由产生、传播到接收的过程是一个多重随机过程，但是在本章讨论的范围内，只考虑具有良好单色性的激光光源，而且一般认为工作环境是不变的。因此我们约定把讨论的对象限制为单色的线偏振空间随机光场，只在某些必要的情况下特别指出时，才涉及到时间变化的光场的随机特性。 11.1.1物面系综上物表面散射光场的统计特性[11-11] 不失一般性，假设全息散斑干涉所测量的物表面为位于的一个平面（见图11.1），其复反射率可表示为。照明光场复振幅为，因而物表面散射光场可表示为 （11.1） 图11.1 全息记录原理 式中，与是与表面特定散射基元有关的量，在物表面系综意义上，它们都是随机变量。由于照明光场一般都是空间缓变的量，散射光场特性主要由反射特性决定。大量实验表明，光学粗糙表面上的散射光场具有以下统计特性： 被测表面上各散射基元散射出的光场复振幅值与相位彼此统计独立，不同散射基元散射出的光场复振幅彼此统计独立。 被测表面从光学上讲是粗糙的，即其表面起伏高度的标准差远大于照明光波的波长，以至于可以认为在区间上均匀分布，其概率密度函数为 （11.2） 被测表面散射基元非常细微，与照明区域及测量系统在物面上所形成的点扩散函数的有效覆盖区域相比足够小，但与光波波长相比又足够大。由被测表面散射出的光场在物面上的相关函数可以表示为 （11.3） 式中运算符表示系综平均运算，函数为二维函数，为照明光场及物面宏观反射特性决定的空间缓变强度函数，矢量为坐标的简写。该式表明，散射后物面光场不再是激光器发出的空间相干场，而是变成了严格空间非相干的。如果物表面的变化还是时间函数，严格相干的照明激光束还会变成时间部分相干场。 11.1.2散射光场的一阶统计特性 描述光场的本质的量是复振幅，而有实际意义的量是可以记录和探测的光强。我们不仅要讨论光场复振幅实部与虚部的联合统计特性，也要导出光强的统计特性。为了使讨论更具一般性，我们考察物面散射的光场经过一个线性系统传播后的光场 （11.4） 叠加积分中为传播权函数，为照明区域。这就是众所周知的散斑场。当然一般散斑场并不要求通过线性系统才能产生，相干光照射到散射表面后传播到菲涅耳区以外都会生成散斑场。通过线性系统传播生成的散斑场是空间平稳的，便于在全息散斑干涉计量技术中应用。而且在多数情况下相干光照射到散射表面后的传播过程可以用线性系统模型做良好的近似，故本章内都假设传播过程是线性的。式（11.4）表明，散射光场即散斑场任一点处的复振幅的实部和虚部可表示