光学元件上微小异物的测定–采用红外显微镜AIM-9000进行扫描-岛津.PDF

LAAN-A-FT-C013 Application 光吸收分析 Spectrophotometric Analysis News 光学元件上微小异物的测定 –采用红外显微镜AIM-9000 进行扫描和识别– No. A513 Measuring Micro-Contaminants on Optical Parts –Measurement and Identification by AIM-9000 Infrared Microscope– 随着电气电子设备的小型化和多功能化，仪器的零部件也不 断微型化，因此超小型高性能的半导体零部件和传感器等光学元 件被广泛应用。在微型化设备和零部件中，微米级的微小异物可 能会导致仪器发生运行故障。因此为了防止此类问题的发生，查 明异物来源极其重要。 岛津公司的异物自动分析系统（红外显微镜）AIM-9000 采用 将微小部分作为测定目标的光学设计，可以在短时间内获得微米 级异物的清晰光谱。本文向您介绍使用本系统对光学元件表面附 着的约 10 μm 微小异物进行测定的示例。 光学元件上的微小异物 Micro-Contaminants on an Optical Part 图 1 为电子设备配置的光学元件零部件表面附着异物的显微 镜照片。由图可知，异物在数 μm～10 μm 左右，分布在元件表面。 图 2 异物的红外光谱和检索结果 Infrared Spectrum and Search Result for the Contaminant 表 1 测定条件 Measurement Conditions 仪器 : IRTracer-100, AIM-9000 图 1 微小异物的显微镜图像（蓝框为□10 μm） -1 分辨率 : 8 cm Microscope Image of Micro-Contaminants 扫描次数 : 40 (shown with a 10 μm blue box) 变迹函数 : Happ-Genzel 检测器 : MCT 测定 Measurement 因为该异物所在的零部件表面为平滑且有光泽的金属，所以 无需提取异物，适合不易发生破坏和丢失的反射法进行测定。 图 2 为使用