光学自由曲面的超精密加工技术及应用-PolyUIRA.PDF

Annual 2 3 of CMES CMES 2 3 Ultra-precision Machining Tec hnique for Optecal Freeform and Its Application 李荣彬 杜 雪 张志辉 高 栋 赵伟明 (香港理工大学工业及系统工程学系先进光学制造中心) :、、。 。 , 。 , 。 : 、、、、 4 LCD 、 。 。 。V 、f-theta 。 V 、 、V , 。V 、 、、、MEMS 。 。 1 Senko Advanced Components, Inc.。V , 、 。2 OZ Optics 。V 。、 。3 V 。 f-theta 。 5 ,, , , y =f ·tan θ (:y , θ,f ), y θ。 , θ ,。 , 制造技术与机床 ·　　　17 · 2 4 年第1 期 CMES 2 3 Annual 2 3 of CMES 。, 。、 , ,。 θ, 3 (x 、y 、z ), 2 B C 。 。f-theta ,, ,、 y =f ·θ, f-theta 、。 8.6 。6 , 3M Procision Lens nm。, 1 r/min。 F-theta 。 7 mm。3 35 mm(x )×15 mm(y )×25 mm(z )。 2 , ,。( Focus Software ZEMAX、Optical Research Associate Code V), 1