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PCB工艺 - 图形电镀和蚀刻

footer footer PCB流程-图形电镀蚀刻 ※制程目的 加厚线路及孔内铜厚,使产品达到 客户要求 图形电镀制程目的 图形电镀工艺流程 ※工艺流程 上板→除油→水洗→微蚀→水洗→ 酸浸→镀铜→水洗→酸浸→镀锡→水 洗→下板→退镀→水洗→上板 图电工序主要工艺参数 流程 主要药水成分 主要工艺参数 作用 除油 Acid Cleaner ACD(ATO) 操作温度:28-32℃、操作时间:3-5min、浓度:15%-20% 清洁板面 微蚀 NPS(过硫酸钠)+H2SO4 操作温度:24-28 ℃、操作时间:1-2min、微蚀速率:0.7-1.3um/cycle 去除氧化物、粗化铜面 酸浸 H2SO4 操作温度:室温、操作时间:0.5-1min、浓度:7%-12% 去除轻微氧化及维持药水浓度 镀铜 CuSO4、Cl-、H2SO4、光剂 操作温度: 22-27℃、镀铜时间:86min或更长 加厚铜 镀锡 SnSO4、H2SO4、光剂 操作温度: 18-22℃、镀锡时间:10min或更长 镀锡为碱性蚀刻提供抗蚀层 退镀 HNO3 操作温度:室温、退镀时间:5-8min 去除电镀夹具上的镀铜 流程详解 ※除油(Acid Clean) 1、流程目的:清洁铜面,去除上工序的 残膜及人手接触后的指印等油性污垢(使 用酸性溶液,以免使干膜受损)。 2、主要成分:Acid Cleaner ACD(ATO) 3、操作温度:28-32 ℃ 4、处理时间:3-5min 流程详解 ※微蚀(Micro Etch) 1、流程目的:除去铜面上的氧化物,粗化 铜面,提高镀层结合力。 2、主要成分:过硫酸钠、硫酸 3、操作温度:24-28℃ 4、处理时间:1-2min 流程详解 ※镀铜预浸(Pre-dip for Cu Plate) 1、流程目的:用稀硫酸除去铜表面的轻微 氧化;维持镀铜缸之酸度,减小镀铜缸成 份的变化。 2、主要成分:硫酸 3、操作温度:室温 4、处理时间:0.5-1min 流程详解 ※镀铜(Copper Plate) 1、流程目的:在酸性硫酸铜镀液中,铜离 子不断的得电子被还原为金属铜,沉积在 板面及镀铜孔内,直至达到所需的厚度。 2、主要成分:硫酸、硫酸铜、氯离子、 Brightener 125T-2(RH)、 Carrier 125-2(RH) 3、操作温度:22-27℃ 4、处理时间:86min 流程详解 ※镀锡预浸(Pre-dip for Tin Plate) 1、流程目的:用稀硫酸除去铜表面的轻微 氧化;维持镀锡缸之酸度,减小镀锡缸各 主要成分变化。 2、主要成分:硫酸 3、操作温度:室温 4、处理时间:0.5-1min 流程详解 ※镀锡(Tin Plate) 1、流程目的:在酸性硫酸亚锡镀液中,亚 锡离子不断的得电子被还原为金属锡,沉 积在已经镀铜的板面及孔内,直至达到所 需的厚度。 2、主要成分:硫酸、硫酸亚锡 EC Part A(RH) EC Part B(RH) 3、操作温度:18-22℃ 4、处理时间:10min或更长 流程详解 ※夹具退铜(Rack Strip) 1、去除电镀夹具上的镀铜,方便下一循环 的电镀进行。 2、主要成分:硝酸 3、操作温度:室温 4、处理时间:5-8min 图形电镀设备 待图电的板 图电后的板 蚀刻工序 ※制程目的 蚀掉非线路铜(底铜和板电层), 获得成品线路图形,使产品达到导通 的基本功能。 蚀刻工艺流程 ※工艺流程 退膜→水洗→蚀刻→水洗→退锡 →水洗→烘干 蚀刻工序主要工艺参数 流程 主要药水成分 主要工艺参数 作用 退膜 NaOH 浓度:1.8%-3.0% 操作温度:28-50℃ 速度:2.0-4.0m/min 压力:2.0-2.5bar 退掉干膜 蚀刻 CuCl2 NH4Cl NH4Cl 比重:1.170-1.190 操作温度:48-52 ℃ 速度:2.0-5.0m/min 压力:1.5-3.3bar 蚀掉非线路铜层 退锡 SS-188(HNO3) 总酸度:3.8-4.5N 操作温度:20-38 ℃ 速度:2.0-4.0m/min 压力:1.8-2.2bar 退掉抗蚀层-镀锡层 流程详解 ※退膜 退膜制程所使用的化学药液以NaOH为 主,药液浓度在1-3%左右(重量比),槽 液温度在30-50℃左右。 之所以采用NaOH作为退膜药液主要是因 为其对已硬化的干膜有较好的溶解性能, 且价格低廉。 流程详解 ※碱性蚀刻 1

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