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碳钛颗粒膜表面电子发射特性-表面技术
任雯等 碳钛颗粒膜表面电子发射特性
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碳钛颗粒膜表面电子发射特性
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任雯 梁海锋 蔡长龙
( , )
西安工业大学 光电学院 西安 710032
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摘 要 采用磁控溅射技术沉积碳钛颗粒膜 应用图形化工艺制作基于碳钛颗粒膜的表面电子发射原型
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器件 在幅值渐增的三角波电压作用下 器件在电压幅值低于17V时 伏安特性呈明显的线性特性 对应的薄膜
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表面没有变化 进一步升高器件电压幅值 伏安特性呈明显的负阻特性 同时可以观测到表面电子发射 表面电子
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发射最大达到 7.2 A 发射效率达到了0.0943% 薄膜表面失色 产生明显的孔洞结构 根据 F灢N理论拟合器
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件电压和发射电流 所得 IV 特性曲线呈直线 表明发射电子源于场致电子发射
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关键词 碳钛颗粒膜 表面传导电子发射 伏安特性 场致发射
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[中图分类号] ; [文献标识码] [文章编号] ( )
TG174.444 O462.4暋暋暋 A暋暋暋 1001灢3660201203灢0022灢04
ElectronEmissionCharacteristicsofC灢TiGranularFilms
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RENWen LIANGHai灢en CAIChan灢lon
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SchoolofPhotoelectricalXianTechnoloicalUniversit Xian710032 China
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Abstract暋 C灢Tiranularfilmsdeositedb manetronsutterin weretakenasmaterialofsurfaceconductione
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lectronemitterforSEDsurfaceconductionelectronemissiondisla .Intheeffectofincreasin trianularwavevolt
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