九十六学年南台科技大学机械工程系实务专题制作报告南台科技大学.PDF

九十六學年九十六學年 南台科技大學機械工程系實務專題製作報告南台科技大學機械工程系實務專題製作報告 九十六學年九十六學年 南台科技大學機械工程系實務專題製作報告南台科技大學機械工程系實務專題製作報告 題目 ：三軸向光學式加速度計之研製 指導老師： 朱志良 （ ） 參與學生： 柯竣程 四技自控三甲 龍沿 達 四技自控三甲 李英瑞 四技自控三甲 黃俊昇 四技自控三甲 摘要 1. 前言 本專題主要目的是發展一低成本、高靈敏 近年來由於機械之動力與速度機能的提 度之三軸向光學式加速度計 。以市售商用光 高，為有效地降低機械振動所造成對精度不 碟機 (DVDROM)內之光學讀取頭為光路基 利的影響與解決振動所造成的困擾 ，振動量 礎，當感震質量反射面不在讀取頭物鏡的聚 的精確量測於精密工業發展中更 行重要 。 焦面時 ，經由感測器量測到一個失焦訊號的S Karnopp 在參考文獻 [1]中介紹了主動式與半 曲線 ，利用S曲線之線性區域予以記錄出感 主動式隔振控制之發展歷史與應用狀況上 ， 震質量與基座間的相對位移 ，進而求得基座 有關精密機械設備隔振技術方面 ，他認為主 的加速度值 。 要技術困難點在於感測技術與控制機制之設 二自由度量測探頭的製作上 ，將光學讀 計，而整個主動隔振系統之特性又與感測技 取頭中的光柵 、聚焦透鏡與音圈馬達拆除， 術與控制機制之設計有著密不可分的關係 。 使用雷射自動視準儀量測原理 ，將光束投射 因此近年來針對精密機械設備的減振系統設 至感震質量上方表面且作為兩個角度的變化 計需具備達 1Hz 以下之隔振頻率能力 ，亦即 量量測 ，用光學讀取頭內建的四象限感測器 所使用的加速度計量測功能必須能適合低頻 量測 X 與Y軸的受光量進而計算反射鏡返回 量測 ，甚至可量測到接近 DC 頻率的振動 。 光點的位移量 ，藉此作為感震質量與基座間 振幅 、速度、加速度等的量測，皆為從 的相對運動量測 ，進而計算出X 與 Y軸的加 事研究振動的範圍 。量測振動方面的儀器， 速度值 。 現已高度發展 ，不僅複雜，而且昂貴，一般 感震質量是以 十字型結構搭配八根微細 加速度計最簡單的設計 ，乃藉由位移感測器 樑之設計 ，此結構經 ANSYS 動態分析得知 予以記錄出加速度計內部感震質量與其基座 三軸共振頻率相同 ，因此得知此設計為三軸 間的相對距離 ，進而得到基座的加速度[2] 。 等剛性之結構 ，並搭配雙自由度 與單自由度 現階段 大多使用電容 、壓電、電阻、電磁與 量測探頭