二维快速控制水冷反射镜装置设计-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 １７ ３ 　 Ｖｏｌ．１７ Ｎｏ．３ 　 　 　　 　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００９ ３ Ｍａｒ．２００９ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００９０３０４９３０６ 　 二维快速控制水冷反射镜装置设计 ， １２ １ １ １ 邵 帅 ，高云国 ，郭 劲 ，宣 明 　 　 　 （ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 ； １． １３００３３ 中国科学院 研究生院，北京， ） ２． １０００３９ 摘要：为了进一步精确控制激光发射方向，减少反射镜热畸变以提高光束质量，设计了一种新型二维快速控制水冷反射 镜装置。根据高功率激光反射镜的设计和制作原则，对反射镜的材料性能进行了分析，采用主动水冷铜镜来减小镜面热 畸变使镜面变形控制在 以内。然后，分别从机械结构、驱动器和控制系统、角度检测元件 方面设计了反射镜装 ０．１ ｍ ３ μ 置，其 狓 轴框架式的机械结构形式，可减小反射镜的冷却水管对轴系回转精度的影响，使回转精度＜２″。实验测试结 狔 果表明，二维快速控制水冷反射镜装置工作稳定、可靠，控制光束稳定的精度＜１″，可满足对激光传输方向的精确实时控 制和对光束整体倾斜方向进行校正等要求。 关 键 词：高能激光系统；快速控制反射镜；水冷；音圈电机 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ＴＮ２４３ＴＨ７０３ Ａ 　　 犇犲狊犻狀狅犳狋狑狅犱犻犿犲狀狊犻狅狀犪犾犳犪狊狋狊狋犲犲狉犻狀 犮狅狅犾犻狀 犿犻狉狉狅狉犲狌犻犿犲狀狋 犵 犵 犵 狇 狆 ， １２ １ １ １ ， ， ， ＳＨＡＯＳｈｕａｉ ＧＡＯＹｕｎｕｏ ＧＵＯＪｉｎ ＸＵＡＮＭｉｎ ｇ ｇ （ ，