硅基光波导材料的研究.doc

硅基光波导材料的研究 第40卷第8期 2010年8月 激光与红外 ISERamp;INFRARED Vo1.40,No.8 August,2010 文章编号:1001—5078(2010)08-0811-06 硅基光波导材料的研究 陈媛媛 (北京工商大学计算机与信息工程学院,北京100048) ? 综述与评论? 摘要:光波导是集成光路及其元器件中最基本的构成单元.本文介绍了各种不同类型的光 波导材料的特性.硅材料作为目前研究得最透彻的半导体材料,它在光电子领域的应用也是 令人关注的.硅基光波导材料种类繁多,主要包括聚合物,外延硅/重掺杂硅,SiO:,SOI和 SiGe/Si等.硅基光波导材料是实现硅基光波导器件的基础,本文阐明了它们各自的特点和应 用前景.其中聚合物,SiO,和SOI波导是目前研究的热点. 关键词:光波导材料;硅基;聚合物;SiO:;SOI 中图分类号:TN252文献标识码:A Researchonsilicon—basedopticalwaveguidematerials CHENYuan-yuan (CollegeofComputerandInformationEngineering,BeijingTechnologyandBusinessUniversity,Beijing100048,China) Abstract:Theopticalwaveguideisthebasicunittomakeupopticalcircuitanddevices.Theperformancesofdifferent opticalwaveguidematerialsayereviewed.Siliconisthemostcommonandfamiliarsemiconductormaterialatthepres— entresearchwhichhasattractedmanyattentionsinoptoelectronicdomain.Therearemanykindsofsilicon?basedopti— calwaveguidematerials,includingpolymer,epitaxial/aduheratesilicon,SiO2,SOIandSiGe/Sietc.Theycanrealize silicon—basedopticalwaveguidedevices.Inthispaper,propertiesandprospectsofapplicationsofdifferentoptical waveguidematerialsarereviewed.AmongthematerialspolymerSi02andSOlareresearchhotspotatpresent. Keywords:opticalwaveguidematerials;silicon—base;polymer;SiO2;SOI 1引言 光波导是集成光路及其元器件中最基本的构成 单元,其作用类似电路中的导线,用来实现不同器件 之间的光路连接,对光波主要起着限制,传输,耦合 的作用.作为目前研究得最透彻的半导体材料,硅 材料容易得到,成本低廉且工艺成熟.硅在微电子 领域的成功引导人们考虑其在光学上的应用.硅在 石英光纤的长波长低损耗窗口(即1.3—1.6m波 长范围内)是透明的,这使其在导波光学方面的应 用成为可能.因此随着光纤通信的迅猛发展,全硅 光集成技术成为该领域中的重要方向.纯粹的硅对 光是没有限制作用的,必须在硅上形成对光起限制 作用的光波导结构才能制作硅的导波光学器件.硅 基光波导主要包括硅基Ⅳ族波导和硅基聚合物波 导.其中硅基Ⅳ族波导主要包括外延硅/重掺杂硅 波导,SiO:光波导,SiGe/Si合金光波导和SOI光波 导等. 2几种常见光波导材料的比较 用于制作光波导器件的材料主要有Ⅲ一V族化 合物材料,铁电氧化物材料和硅基材料,这几种类型 的材料各有其优缺点. Ⅲ一V族化合物材料是用来制造光波导器件的 一 种很好的材料,这类材料的最大优点是可以与有 源器件(如激光器,光探测器,光放大器等)实现单 片集成,但这类材料也存在着明显的不足.首先,这 作者简介:陈媛媛(1979一),女,博士,讲师,主要从事半导体光 波导器件的研究.E—mail:chen.yy@163.eom 收稿日期:2010-04-23;修订日期:2010-05-25 812激光与红外第4o卷 类材料的光传输损耗比较大(0.5dB/cm),因而较 难用来制作低损耗的光波导器件;另外一个不足是 这类材料的价格非常昂贵,增加了器件的成本. 铁电氧化物材料(主要是LiNbO,)的最大优点 是具有较大的电光系数,比非铁电材料高一个数量 级,可获得快